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松本 潔マツモト キヨシ

所属・担当
機械工学科
工業技術研究所
機能システム専攻
職名教授
メールアドレス
ホームページURLhttps://kaken.nii.ac.jp/d/r/10282675.ja.html
生年月日
Last Updated :2017/12/09

研究者基本情報

学歴

  • 1985年04月 - 1987年03月, 東京大学大学院, 工学系研究科, 産業機械工学専攻
  • 1980年04月 - 1985年03月, 東京大学, 工学部, 機械工学科

学位

  • 博士(工学)

所属学協会

  • 応用物理学会
  • 計測自動制御学会
  • 日本ロボット学会
  • 日本機械学会

経歴

  •   2015年 - 現在, 東洋大学, 教授
  •   2006年 - 2015年, 東京大学, 教授
  •   2000年 - 2006年, 東京大学, 助教授
  •   1995年 - 2000年, 東京大学, 助手
  •   1987年 - 1995年, 日立製作所 中央研究所 研究員

研究活動情報

研究分野

  • 機械工学, 知能機械学・機械システム
  • ナノ・マイクロ科学, マイクロ・ナノデバイス
  • 機械工学, 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
  • 機械工学, 生産工学・加工学
  • ナノ・マイクロ科学, ナノマイクロシステム
  • 機械工学, 流体工学

研究キーワード

    MEMS, 3次元微細構造, 自己組織化, 触覚センサ, 独立成分解析, せん断力, 人間機械システム, 熱流速センサ, SPR, SAM, 電気二重層, 疎水性相互作用, 知能化金型, ネガティブコンプライアンス, 自己組み立て

論文

  • Enantiomeric switching of chiral metamaterial for terahertz polarization modulation employing vertically deformable MEMS spirals., Kan T, Isozaki A, Kanda N, Nemoto N, Konishi K, Takahashi H, Kuwata-Gonokami M, Matsumoto K, Shimoyama I, Nature communications, 6,   2015年10月
  • Out-of-plane actuation with a sub-micron initial gap for reconfigurable terahertz micro-electro-mechanical systems metamaterials., Isozaki A, Kan T, Takahashi H, Matsumoto K, Shimoyama I, Optics express, 23, (20) 26243 - 26251,   2015年10月
  • Viscosity measurement based on the tapping-induced free vibration of sessile droplets using MEMS-based piezoresistive cantilevers., Nguyen TV, Nguyen MD, Takahashi H, Matsumoto K, Shimoyama I, Lab on a chip, 15, (18) 3670 - 3676,   2015年09月
  • MEMS心音センサの研究, 竹井裕介, 青木亮, 金子智則, 松本潔, 下山勲, 電気学会論文誌 E, 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 135, (6) 199-203 (J-STAGE) - 203,   2015年
  • 可変周波数アンテナのための大変形貫通流路型液体アクチュエータ, 野田 堅太郎, グエンビンキエム, 松本 潔, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編], 31, 1 - 4,   2014年10月20日
  • 熱音響超音波源を用いた単パルス超音波近接覚センサ, 橋本 康史, 松本 潔, 下山 勲, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines, 133, (11) 326 - 331,   2013年11月
  • 温度画像のための遠赤外線用フレネルレンズ, 高畑 智之, 松本 潔, 下山 勲, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 133, (7) 274 - 279,   2013年07月01日
  • Measurement method for light transmittance of layered metamaterials., Isozaki A, Kan T, Ajiki Y, Matsumoto K, Shimoyama I, Optics letters, 38, (11) 1811 - 1813,   2013年06月
  • Direct physical exfoliation of few-layer graphene from graphite grown on a nickel foil using polydimethylsiloxane with tunable elasticity and adhesion., Yoo K, Takei Y, Kim S, Chiashi S, Maruyama S, Matsumoto K, Shimoyama I, Nanotechnology, 24, (20) ,   2013年05月
  • Ratiometric optical temperature sensor using two fluorescent dyes dissolved in an ionic liquid encapsulated by Parylene film., Kan T, Aoki H, Binh-Khiem N, Matsumoto K, Shimoyama I, Sensors (Basel, Switzerland), 13, (4) 4138 - 4145,   2013年03月
  • 熱音響超音波源を用いた単パルス超音波近接覚センサ, 橋本 康史, 松本 潔, 下山 勲, 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), 133, (11) 326 - 331,   2013年
  • A wake-up switch using a piezoelectric differential pressure sensor., Yutaka Tomimatsu,Hidetoshi Takahashi,Takeshi Kobayashi,Kiyoshi Matsumoto,Isao Shimoyama,Toshihiro Itoh,Ryutaro Maeda, 2013 IEEE Eighth International Conference on Intelligent Sensors, Sensor Networks and Information Processing, Melbourne, Australia, April 2-5, 2013, 23 - 26,   2013年
  • SOIウェハの陽極接合法による可視光領域用マイクロファブリペロー干渉計(研究), 土肥 徹次, 松本 潔, 下山 勲, マイクロメカトロニクス, マイクロメカトロニクス, 56, (207) 1 - 9,   2012年12月10日
  • 分光画像計測のための可変波長マイクロ光フィルタの設計, 土肥徹次, 松本潔, 下山勲, マイクロメカトロニクス, マイクロメカトロニクス, 56, (207) 10 - 21,   2012年12月10日
  • Electrochemical impedance measurement of a carbon nanotube probe electrode., Inaba A, Takei Y, Kan T, Matsumoto K, Shimoyama I, Nanotechnology, 23, (48) ,   2012年12月
  • Differential pressure distribution measurement with an MEMS sensor on a free-flying butterfly wing., Takahashi H, Tanaka H, Matsumoto K, Shimoyama I, Bioinspiration & biomimetics, 7, (3) ,   2012年09月
  • Optical measurement of directional strain by scattering from nano-disk pairs aligned on an elastomer., Kan T, Matsumoto K, Shimoyama I, Nanotechnology, 23, (31) ,   2012年08月
  • 咀嚼嚥下時の舌運動様相の3次元・時系列的解析が可能な超小型口蓋センサの開発, 河合利彦, 竹井裕介, 野田堅太郎, 松本潔, 下山勲, 外山義雄, 大森敏弘, 舘村卓, 静脈経腸栄養, 27, (1) ,   2012年01月25日
  • Home-Assistant Robot for an Aging Society., Kimitoshi Yamazaki,Ryohei Ueda,Shunichi Nozawa,Mitsuharu Kojima,Kei Okada,Kiyoshi Matsumoto,Masaru Ishikawa,Isao Shimoyama,Masayuki Inaba, Proceedings of the IEEE, 100, (8) 2429 - 2441,   2012年
  • The photo charge of a bacterioRhodopsin electrochemical cells measured by a charge amplifier., Seiichi Takamatsu,Kazunori Hoshino,Kiyoshi Matsumoto,Tsutomu Miyasaka,Isao Shimoyama, IEICE Electronic Express, 8, (7) 505 - 511,   2011年
  • イオン液体とパリレン直接蒸着法を用いたグルコースオキシダーゼの封止法, 高松 誠一, 高納 尚徳, ビンキェム グェン, 岩瀬 英治, 松本 潔, 下山 勲, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, (12) 562 - 569,   2010年12月01日
  • Tensile film stress of parylene deposited on liquid., Nguyen BK, Matsumoto K, Shimoyama I, Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids, 26, (24) 18771 - 18775,   2010年12月
  • MEMS差圧センサ搭載昆虫型羽ばたき機を用いた自由飛翔時の翼面圧力差計測, 大澤 一治, 青山 雄一郎, 高橋 英俊, 田中 博人, 岩瀬 英治, 松本 潔, 下山 勲, 日本ロボット学会誌, 日本ロボット学会誌, 28, (9) 1131 - 1136,   2010年11月15日
  • 有機エレクトロクロミック素子を用いたボリュームディスプレイのプロトタイプ試作と表示, 高松 誠一, 村尾 幸夫, 松本 潔, 下山 勲, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, (11) 550 - 551,   2010年11月01日
  • MEMSセンサによる羽ばたき翼面の圧力差計測, 高橋英俊, 青山雄一郎, 大澤一治, 松本潔, 下山勲, 可視化情報学会誌, 30, (Suppl.2) 207 - 208,   2010年10月15日
  • Differential pressure measurement using a free-flying insect-like ornithopter with an MEMS sensor., Takahashi H, Aoyama Y, Ohsawa K, Tanaka H, Iwase E, Matsumoto K, Shimoyama I, Bioinspiration & biomimetics, 5, (3) ,   2010年09月
  • トンボ型羽ばたき飛行における羽ばたき位相差と飛行速度(流体工学,流体機械), 高橋 英俊, 田中 博人, 松本 潔, 下山 勲, 日本機械学會論文集. B編, 日本機械学會論文集. B編, 76, (768) 1199 - 1205,   2010年08月25日
  • トンボ型羽ばたき飛行における羽ばたき位相差と飛行速度, 高橋英俊, 田中博人, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会論文集 B編, 76, (768) 1199 - 1205,   2010年08月25日
  • パリレンピールオフ法を用いたPEDOT : PSSパターニング, 高松 誠一, 高畑 智之, 松本 潔, 下山 勲, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, (8) 394 - 400,   2010年08月01日
  • Capillary motor driven by electrowetting., Takei A, Matsumoto K, Shomoyama I, Lab on a chip, 10, (14) 1781 - 1786,   2010年07月
  • 温度制御転写における自動位置補正技術, 岩瀬 英治, 尾上 弘晃, 中井 亮仁, 松本 潔, 下山 勲, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, (5) 188 - 193,   2010年05月01日
  • 開口マスクによるシリコン3次元斜面形状の作製, 竹井 裕介, 大堀 敬広, 高畑 智之, 菅 哲朗, 岩瀬 英治, 松本 潔, 下山 勲, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 130, (5) 182 - 187,   2010年05月01日
  • Capillary torque caused by a liquid droplet sandwiched between two plates., Takei A, Matsumoto K, Shimoyama I, Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids, 26, (4) 2497 - 2504,   2010年02月
  • MEMS差圧センサ搭載昆虫型羽ばたき機を用いた自由飛翔時の翼面圧力差計測, 大澤 一治, 青山 雄一郎, 高橋 英俊, 田中 博人, 岩瀬 英治, 松本 潔, 下山 勲, 日本ロボット学会誌, 日本ロボット学会誌, 28, (9) 1131 - 1136,   2010年
  • Liquid-phase packaging of a glucose oxidase solution with parylene direct encapsulation and an ultraviolet curing adhesive cover for glucose sensors., Takamatsu S, Takano H, Nguyen BK, Takahata T, Iwase E, Matsumoto K, Shimoyama I, Sensors (Basel, Switzerland), 10, (6) 5888 - 5898,   2010年
  • Stretchable liquid tactile sensor for robot-joints., Kentaro Noda,Eiji Iwase,Kiyoshi Matsumoto,Isao Shimoyama, IEEE International Conference on Robotics and Automation, ICRA 2010, Anchorage, Alaska, USA, 3-7 May 2010, 4212 - 4217,   2010年
  • Fabrication and demonstration of an electrochromic voxel array for a volume display prototype., Seiichi Takamatsu,Sachio Murao,Nguyen Binh-Khiem,Eiji Iwase,Kiyoshi Matsumoto,Isao Shimoyama, IEICE Electronic Express, 7, (13) 920 - 924,   2010年
  • Photosensitive protein patterning with electrophoretic deposition., Seiichi Takamatsu,Kazunori Hoshino,Kiyoshi Matsumoto,Tsutomu Miyasaka,Isao Shimoyama, IEICE Electronic Express, 7, (11) 779 - 784,   2010年
  • 平面型微小コイルを用いた局所高感度MRI, 土肥徹次, 高橋英俊, 松本潔, 下山勲, 生体医工学, 生体医工学 : 日本エム・イー学会誌 = Transactions of the Japanese Society for Medical and Biological Engineering : BME, 47, (6) 484 - 493,   2009年12月10日
  • Tactile sensor with standing piezoresistive cantilevers, covered with 2-layer skin type structures for texture detection of object surface., Kentaro Noda,Kiyoshi Matsumoto,Isao Shimoyama, 2008 IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems, September 22-26, 2008, Acropolis Convention Center, Nice, France, 3953 - 3958,   2008年
  • Design and performance of micromolded plastic butterfly wings on butterfly ornithopter., Hiroto Tanaka,Kiyoshi Matsumoto,Isao Shimoyama, 2008 IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems, September 22-26, 2008, Acropolis Convention Center, Nice, France, 3095 - 3100,   2008年
  • Three-dimensional sequential self-assembly of microscale objects., Onoe H, Matsumoto K, Shimoyama I, Small (Weinheim an der Bergstrasse, Germany), 3, (8) 1383 - 1389,   2007年08月
  • Piezoresistor-equipped fluorescence-based cantilever probe for near-field scanning., Kan T, Matsumoto K, Shimoyama I, The Review of scientific instruments, 78, (8) ,   2007年08月
  • チョウ型羽ばたき飛行における迎え角の受動的変化(流体工学,流体機械), 田中 博人, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, 日本機械学會論文集. B編, 日本機械学會論文集. B編, 72, (718) 1490 - 1496,   2006年06月25日
  • チョウ型羽ばたき飛行における迎え角の受動的変化, 田中博人, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会論文集 B編, 日本機械学会論文集 B編, 72, (718) 1490 - 1496,   2006年06月25日
  • Direct measurement of the binding force between microfabricated particles and a planar surface in aqueous solution by force-sensing piezoresistive cantilevers., Onoe H, Gel M, Hoshino K, Matsumoto K, Shimoyama I, Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids, 21, (24) 11251 - 11261,   2005年11月
  • Flight dynamics of a butterfly-type ornithopter., Hiroto Tanaka,Kazunori Hoshino,Kiyoshi Matsumoto,Isao Shimoyama, 2005 IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems, Edmonton, Alberta, Canada, August 2-6, 2005, 2706 - 2711,   2005年
  • 歯冠内に埋入可能な小型三次元咬合力センサの開発, 石原弘文, 三浦宏之, 岡田大蔵, 新木敏之, 徳田彩子, 森川理, 星野紘子, 池田あゆみ, 岡野雄一郎, 松本潔, 中尾政之, 日本顎口腔機能学会雑誌, 日本顎口腔機能学会雑誌, 9, (1) 66 - 67,   2002年11月30日
  • ひずみゲージを応用した歯の6自由度変位測定装置の開発, 新木敏之, 三浦宏之, 岡田大蔵, 石原弘文, 森川理, 徳田彩子, 星野紘子, 池田あゆみ, 岡野雄一郎, 松本潔, 中尾政之, 日本顎口腔機能学会雑誌, 日本顎口腔機能学会雑誌, 9, (1) 68 - 70,   2002年11月30日
  • ネガティブコンプライアンス素子を用いた加工誤差の低減 平面研削装置への適用, 松本潔, 畑村洋太郎, 中尾政之, 精密工学会誌, 精密工学会誌, 65, (7) 1041 - 1045,   1999年07月05日
  • アクチュエーショシ機能を備えたアクティブ力センサの開発 第2報 特性の解析およびコンプライアンス制御, 松本潔, 畑村洋太郎, 中尾政之, 精密工学会誌, 精密工学会誌, 65, (6) 835 - 839,   1999年06月05日
  • アクチュエーション機能を備えたアクティブカセンサの開発(第1報) : 基本原理の検討, 松本 潔, 畑村 洋太郎, 中尾 政之, 精密工学会誌, 精密工学会誌, 65, (5) 758 - 762,   1999年05月05日
  • アクチュエーション機能を備えたアクティブ力センサの開発, 松本 潔, 畑村 洋太郎, 中尾 政之, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1997, (2) ,   1997年10月01日
  • The Digital Album: A Personal File-tainment System., Yuichi Yagawa,Noriyuki Iwai,Kunihiro Yanagi,Keiji Kojima,Kiyoshi Matsumoto, Proceedings of the IEEE International Conference on Multimedia Computing and Systems, ICMCS 1996, Hiroshima, Japan, June 17-23, 1996, 433 - 440,   1996年

MISC

  • 1A2-C09 ピエゾ抵抗カンチレバーを用いた筋音計測用圧力センサ(リハビリテーションロボティクス・メカトロニクス(2)), 金子 智則, グェン ミンジュン, 高畑 智之, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2013,   2013年05月22日, In this paper, we report an approach to measure mechanomyogram (MMG) using a MEMS pressure sensor. The sensor consisted of an open cavity and a micro piezo-resistive cantilever, which was placed at the cavity's opening. The sensor was attached on a subject's forearm to measure the emitted MMG when the subject was exerting forces with his/her arm. In the prototype sensor, the cavity had footprint radius of 5.5 mm and the height of 3 mm. The gap between the cantilever and the surrounding walls was downscaled to 2 μm to enable the sensor to measure low frequency sound pressure with high sensitivity. In experiments, we used an electromyogram recorder, a low frequency microphone and an electronic stethoscope, and based on the results taken with these conventional devices to evaluate our proposed sensor. The experimental results showed that the sensor was able to measure MMG with the maximum S/N ratio of 50.
  • 1A1-A12 翅脈の弾性が異なる羽ばたき機を用いた翼面圧力差計測(バイオミメティクス・バイオメカトロニクス(1)), 平川 真之介, 高橋 英俊, 高畑 智之, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2013,   2013年05月22日, We measured differential pressures on the wing of an ornithopter with different stiffness of veins in flapping motion. The pressure measurement was carried out by using a MEMS differential pressure sensor attached on the wing surface. The ornithopter was modeled after a hawkmoth. The wing length was 110 mm, and total mass was 7.3-7.7 g. We fabricated three types of wings which had veins of different cross-section. In the experiment, the ornithopter was propelled by an electric motor and flapped at 10-11 Hz. The result suggested that when a wing is flexible, the different pressure on the wing is small, but the passive deformation of the wing is large during takeoff, then the ornithopter can fly by being subjected to thrust during upstroke and lift during downstroke.
  • 構造変形による可変スパイラルメタマテリアル, 菅哲朗, 磯崎瑛宏, 根本夏紀, 小西邦昭, 五神真, 松本潔, 下山勲, 神田夏輝, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 30th,   2013年
  • PZTカンチレバーを用いた高感度低消費電力の差圧センサ, 海法克享, 高橋英俊, 富松大, 小林健, 松本潔, 下山勲, 伊藤寿浩, 前田龍太郎, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 30th,   2013年
  • MEMSせん断力センサを用いたスティック型粘度計, 竹井裕介, 浜島朋希, 野田堅太郎, 松本潔, 下山勲, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 30th,   2013年
  • 3軸力センサを用いた舌の前部および後部の運動計測, 竹井裕介, 野田堅太郎, 河合利彦, 舘村卓, 外山義雄, 高井めぐみ, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会シンポジウム:スポーツ・アンド・ヒューマン・ダイナミクス(CD-ROM), 2013,   2013年
  • MEMS3軸力センサを用いた階段昇降時の足裏応力分布計測, 中井亮仁, 永野顕法, 高橋英俊, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会シンポジウム:スポーツ・アンド・ヒューマン・ダイナミクス(CD-ROM), 2013,   2013年
  • 素足歩行時に足にかかる力の計測, 堀正峻, 高橋英俊, 中井亮仁, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会シンポジウム:スポーツ・アンド・ヒューマンダイナミクス講演論文集, 2012,   2012年11月14日
  • 口蓋に設置した3軸力センサによる嚥下時の舌の動きの計測, 竹井裕介, 野田堅太郎, 河合利彦, 舘村卓, 外山義雄, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会シンポジウム:スポーツ・アンド・ヒューマンダイナミクス講演論文集, 2012,   2012年11月14日
  • 228 口蓋に設置した3軸力センサによる嚥下時の舌の動きの計測(計測と分析), 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 河合 利彦, 舘村 卓, 外山 義雄, 松本 潔, 下山 勲, シンポジウム: スポーツ・アンド・ヒューマン・ダイナミクス講演論文集, 2012,   2012年11月14日, We fabricated triaxial force sensor applicable to non-invasive human lingual motion measurement. The sensor contains two cantilevers for shear force sensing and one beam for pressure sensing. These cantilevers and the beam were buried in the silicone rubber. Their hinges are consisting of piezo-resistive layers in order to detect the force applied on the silicone rubber surface. Water swallowing experiment was conducted and we measured the pressure and shear forces acting on palate. From the experiment, we quantified the ease of consumption of the viscosity-increased water compared to the normal water.
  • 温度画像のための遠赤外線用フレネルレンズ, 高畑智之, 松本潔, 下山勲, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 29th,   2012年10月22日
  • 高透過率可変焦点液体レンズを用いた共焦点距離センサ, 野田堅太郎, NGUYEN Binh‐Khiem, 竹井裕介, 高畑智之, 松本潔, 下山勲, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 29th,   2012年10月22日
  • 反射型パルスオキシメータの測定深さに対する光源‐受光部間距離の影響, 高畑智之, 高河原和彦, 松本潔, 下山勲, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 29th,   2012年10月22日
  • 3軸力センサによる咀嚼嚥下時の舌の動きの計測, 竹井裕介, 野田堅太郎, 河合利彦, 舘村卓, 外山義雄, 大森敏弘, 松本潔, 下山勲, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 29th,   2012年10月22日
  • サイドウォールドーピングを用いた3軸触覚センサ, 高橋英俊, 中井亮仁, 松本潔, 下山勲, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 29th,   2012年10月22日
  • エラストマ上に配置したナノ粒子ペアを用いた歪センサ, 菅哲朗, 松本潔, 下山勲, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 29th,   2012年10月22日
  • 多足歩行ロボットの歩行時に足にかかる力の計測, 堀正峻, 高橋英俊, 中井亮仁, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 30th,   2012年09月17日
  • 咀嚼嚥下時の舌運動様相の3次元・時系列的解析が可能な超小型口蓋センサの開発―液状食品を用いた試行―, 河合利彦, 竹井裕介, 野田堅太郎, 松本潔, 下山勲, 外山義雄, 大森敏弘, 舘村卓, 舘村卓, 日本摂食嚥下リハビリテーション学会学術大会抄録集(Web), 17th/18th,   2012年
  • チョウの離陸時における圧力差分布, 高橋英俊, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM), 2011,   2011年09月10日
  • サイドウォールドーピングを用いたピエゾ抵抗型三軸力センサ, 菅哲朗, 高橋英俊, 青山雄一郎, 竹井裕介, 野田堅太郎, 松本潔, 下山勲, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM), 28th,   2011年09月26日
  • 2P1-G09 インソールに配置したMEMS3軸力センサによる足裏応力分布計測(感覚・運動・計測(3)), 中井 亮仁, 永野 顕法, 高橋 英俊, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2013,   2013年05月22日, We proposed and demonstrated a wireless measurement system of 3-axis stress distribution at a human sole. The system consists of three 3-axis force sensors fabricated by MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technologies which were placed on the heel, thenar and hypothenar, three amplifier circuit boards and a CPU board with a Bluetooth module. The 3-axis stresses composed of normal stress of vertical direction and shear stresses of lateral and front-back directions were measured and calibrated for crosstalk compensation in level walk. The peak stresses of vertical, lateral and front-back directions are about 100kPa at the heel and thenar, 15kPa at the thenar and 20kPa at the heel, respectively.
  • 表面ドープとサイドドープを用いた6軸応力センサの設計, 孫 健, 野田 堅太郎, 高畑 智之, 松本 潔, 下山 勳, 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会, 2013, (20) 67 - 70,   2013年08月08日
  • マイクロ伝熱デバイスによる皮膚の保水量計測, 市川保正, 加藤浩気, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, (Vol.8) 117 - 118,   2010年09月04日
  • チョウ翼面における圧力差計測, 高橋英俊, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2010, (Vol.6) 27 - 28,   2010年09月04日
  • 107 素足歩行時に足にかかる力の計測(運動計測(2)), 堀 正峻, 高橋 英俊, 中井 亮仁, 松本 潔, 下山 勲, シンポジウム: スポーツ・アンド・ヒューマン・ダイナミクス講演論文集, 2012,   2012年11月14日, We fabricated the 3-axis force sensor applicable to gait analysis. The 3-axis force sensor was fabricated by MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) process. Its size was 8 mm x 8 mm * 5 mm and its weight was 0.6 g. The sensor was attached to the sole of the left foot. The sensor's size and weight were so small that it didn't interfere with human locomotion. Using this sensor, regional plantar 3-axis forces were measured during level walking on inside floor. From this measurement, peak values of forces experienced under third metatarsal were revealed; the peak value of vertical force was about 200N and that of antero-posterior shear force was about 90 N.
  • シューズ埋め込み型センサを用いた圧力・せん断応力の計測, 堀正峻, 高畑智之, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 28th,   2010年
  • 遠赤外線センサのためのマイクロ集光ミラーアレイ, 高畑智之, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 28th,   2010年
  • MEMS差圧センサを搭載した羽ばたき機を用いた昆虫飛翔の研究, 高橋英俊, 大澤一治, 青山雄一郎, 松本潔, 下山勲, 飛行機シンポジウム講演集(CD-ROM), 48th,   2010年
  • G020034 チョウの離陸時における圧力差分布([G02003]バイオエンジニアリング部門一般セッション(3)), 高橋 英俊, 松本 潔, 下山 勲, 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan, 2011,   2011年09月11日, This paper reports on direct measurement of differential pressure distribution on a butterfly wing during takeoff. Differential pressure was measured with a micro-fabricated sensor. A MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) piezo-resistive cantilever was used as the differential pressure sensor. The sensor chip was 1.0 mm x 1.0 mm x 0.3 mm in size and 0.7 mg in weight. The sensor was attached to a butterfly (Papilio protenor) wing surface through a Cu/Polyimide substrate and Au wires. The total weight was 30 mg so that it did not interfere with flight condition. The distribution of five points to the spanwise direction at the forewing and one point at the center of the hindwing was measured during takeoff. As a result, it was clarified that the maximum differential pressure was 20 Pa on the forewing tip. Additionally, the maximum aerodynamic force generated on the wing was 3 times larger than the gravity acting on the body.
  • 超小型MEMS3軸触覚センサチップ, 中井亮仁, 田中悠輔, 橋本康史, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 27th,   2009年09月15日
  • 屋内型パーソナルモビリティのハプティック操縦インタフェース, 高畑智之, 中井亮仁, 大村吉幸, 檜山敦, 友國伸保, 岡部康平, 松本潔, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 27th,   2009年09月15日
  • 単一センサによる音源定位のためのキリギリス規範音響センサ, 稲葉亮, NGUYEN Minh Dung, 高橋英俊, 岩瀬英治, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 27th,   2009年09月15日
  • 思い出し支援のための日用品データベースシステム, 高橋桂太, 横山大作, 森武俊, 植田亮平, 山崎公俊, 岡田慧, 松本潔, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 27th,   2009年09月15日
  • パララックスバリアとマイクロレンズアレイを用いた立体視ディスプレイ, 奥野和秀, 岩瀬英治, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 27th,   2009年09月15日
  • 日用品データベースを利用する家事支援ロボットによる思い出し・片付け支援, 山崎公俊, 野沢峻一, 植田亮平, 槙俊明, 森優人, 岡田慧, 松本潔, 稲葉雅幸, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 27th,   2009年09月15日
  • 昆虫型羽ばたき機を用いた翼面圧力の計測, 青山雄一郎, 大澤一治, 高橋英俊, 岩瀬英治, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 27th,   2009年09月15日
  • MEMSセンサを用いた昆虫型羽ばたき翼における差圧計測, 高橋英俊, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2009, (Vol.6) 135 - 136,   2009年09月12日
  • ナノピラー構造を用いたSPRセンサの高感度化, 菅哲朗, 松本潔, 下山勲, 電気学会バイオ・マイクロシステム研究会資料, BMS-09, (8-24) 5 - 10,   2009年07月23日
  • ナノピラー構造を用いたSPRセンサの高感度化, 菅 哲朗, 松本 潔, 下山 勲, 電気学会研究会資料. BMS, バイオ・マイクロシステム研究会 = The papers of Technical Meeting on Bio Micro Systems, IEE Japan, 2009, (8) 5 - 10,   2009年07月23日
  • J0205-1-1 チョウ翼面における圧力差計測([J0205-1]バイオメカニズム/バイオミメティクス/バイオインスパイアー(1)), 高橋 英俊, 松本 潔, 下山 勲, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, (6) 27 - 28,   2010年09月04日, This paper reports on direct measurement of differential pressure on a butterfly wing during free flight. Differential pressure was measured using a micro-fabricated sensor. A piezo-resistive cantilever was used as a differential pressure sensor. The sensor was 1.0 mm × 1.0 mm × 0.3 mm in size and 0.7 mg in weight so that it did not interfere with wing motion. By attaching the sensor to the center of a butterfly forewing with a flexible wiring, the differential pressure on the wing was measured during free flight. We revealed that the maximum pressure value was 11.7 Pa at the end of stroke. The maximum aerodynamic force in free-flight is 10 times as large as the gravity acting on the body.
  • T0501-5-1 マイクロ伝熱デバイスによる皮膚の保水量計測([T0501-5]マイクロ・ナノスケールの熱流体現象(5)), 市川 保正, 加藤 浩気, 松本 潔, 下山 勲, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2010, (8) 117 - 118,   2010年09月04日, This paper reports the skin moisture device based on micro heat transfer. Moisture density of a target was measured by heat transfer across the interface. Our device consists of resistor temperature detectors (RTD) and a pressure sensor. The RTDs were also used as a heat source. Our device detected difference in moisture density of a contact object by measuring step responses of RTDs in 3 seconds. Experimental data shown for the moisture density in the human skin was actually detectable with our device.
  • 「ロボットを進化させる最先端IT技術」特集について, 松本 潔, 原田 達也, 高橋 桂太, 檜山 敦, 横山 大作, 日本ロボット学会誌, 28,   2010年04月15日
  • J0202-1-6 MEMSセンサを用いた昆虫型羽ばたき翼における差圧計測(生物の機能・運動と模倣(1)), 高橋 英俊, 松本 潔, 下山 勲, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2009, (6) 135 - 136,   2009年09月12日, An insect generates differential pressure between the upper and lower surface of its wings by flapping motion. The insect flies by utilizing that pressure difference as aerodynamic force. In the present study, a high-sensitive sensor utilizing MEMS technology was fabricated to measure the differential pressure. A piezoresistance cantilever was used as the differential pressure sensor. The size of the sensor was 1.5 × 1.5 × 0.3 mm^3, which was small enough not to interfere with the wings under flapping state. The measurement range and resolution were 100 Pa and 0.1 Pa, respectively. By fixing the sensors to an artificial insect wing surface, we demonstrated that the differential pressure distribution was enabled to measure.
  • Siプリズムと回折格子を備えたMEMS近赤外用SPRセンサ, 菅哲朗, 辻内直子, 岩瀬英治, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2008, (Vol.8) 279 - 280,   2008年08月02日
  • ゴルフクラブに働く撃力の計測, 長谷川輝, 田中悠輔, 岩瀬英治, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2008,   2008年06月05日
  • 酸素飽和度および脈拍計測のための埋め込み型無線計測デバイス, 土肥徹次, 桑名健太, 橋本康史, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2008,   2008年06月05日
  • ヘルムホルツ共鳴を利用したマイクロ超音波センサ, 鈴木明, 高橋英俊, 岩瀬英治, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2008,   2008年06月05日
  • ひずみセンサを用いた表面形状の推定, 宮本良, 小松哲, 岩瀬英治, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2008,   2008年06月05日
  • 電動羽ばたき機を用いた昆虫の飛翔の研究, 加藤浩気, 橋本温之, 岩瀬英治, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2008,   2008年06月05日
  • 平面型マイクロコイルを用いた局所高分解能MRIに関する研究, 土肥徹次, 高橋英俊, 桑名健太, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2008,   2008年03月17日
  • マイクロ樹脂成形による翅脈付き翼を持つ蝶型羽ばたき機, 田中博人, 松本潔, 下山勲, バイオエンジニアリング講演会講演論文集, 20th,   2008年01月24日
  • チョウの羽ばたき飛行における翅脈構造と飛行運動の関係, 田中博人, 松本潔, 下山勲, 流体力学講演会/航空宇宙数値シミュレーション技術シンポジウム講演集, 40th-2008,   2008年
  • 立体高次局所自己相関特徴を利用した座面接触パターンに基づく着座者の移動意図推定, 大村吉幸, 松本潔, 國吉康夫, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 25th,   2007年09月13日
  • 仮想バネ反力を用いた搭乗型移動ロボットの直感的操縦法, 友國伸保, 松本潔, 鎌田実, 稲葉雅幸, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 25th,   2007年09月13日
  • ブレ補正光学系のための液体プリズム, 高畑智之, 武居淳, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 25th,   2007年09月13日
  • 高分解能MRI画像取得のためのMEMS立体コイル, 土肥徹次, 桑名健太, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 25th,   2007年09月13日
  • 距離計測用MEMSデバイスのための超音波発信器, 中井亮仁, 磯崎瑛宏, 橋本康史, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 25th,   2007年09月13日
  • せん断応力センサを用いた表面形状の検出, 石滝公一, 岩瀬英治, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2007,   2007年05月10日
  • べん毛型螺旋スクリューの推進特性, 岩井孝介, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2007,   2007年05月10日
  • せん断応力センサを用いた安定した物体把持のための重心検出, 田中悠輔, 森本雄矢, 岩瀬英治, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2007,   2007年05月10日
  • 小型羽ばたきロボットを用いた羽ばたき飛行の研究, 奥村亮, 高納尚徳, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2007,   2007年05月10日
  • 第2部 実世界情報システムプロジェクト報告 実世界情報システムプロジェクト ロボット研究グループ マイクロ・ナノ融合技術を用いたユビキタス生活デバイスの実現, 下山勲, 松本潔, 東京大学21世紀COE情報科学技術戦略コア 平成18年度 報告書,   2007年
  • 反射型構造発色ディスプレイに関する研究, 岩瀬英治, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 24th,   2006年09月14日
  • 微小カンチレバーを用いた柔軟せん断力センサに関する研究, 野田堅太郎, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 24th,   2006年09月14日
  • マイクロ平面コイルを用いたカテーテル型MRI受信デバイス, 桑名健太, 土肥徹次, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 24th,   2006年09月14日
  • 可撓性フォトニック結晶導波路とナノロッドによる透過特性可変素子, 高畑智之, 松本潔, 下山勲, 応用物理学会学術講演会講演予稿集, 67th,   2006年08月29日
  • 540 Siプリズムと回折格子を備えたMEMS近赤外用SPRセンサ(T04 MEMS技術を用いたヒューマンインターフェース,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境), 菅 哲朗, 辻内 直子, 岩瀬 英治, 松本 潔, 下山 勲, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2008, (8) 279 - 280,   2008年08月02日, We have developed a Si microfabrication based SPR (Surface Plasmon Resonance) sensor chip equipped with Si prisms and an optical grating for sensor miniaturization. The Si prism structure was used to introduce the Near-Infrared light (λ = 1550 nm) to the sensing surface and generating the evanescent light there. Smooth prism slope was fabricated by utilizing (111) planes on the (100) plane of single crystalline Si wafer by anisotropic etching, giving small 200-μm prism array with 54.74° slope angle. We also used the optical grating with about 400-μm-pitch to manipulate an SPR dip position so as to increase the design freedom of the optical path within the sensor. SPR measurements with several specimens confirmed that the combination of Si prisms and the optical grating successfully worked to excite Surface Plasmon so that the sensor's validity as a refractive index sensor was also confirmed. Since this sensor is compatible with a Si microfabrication technology, further integration of optical parts, fluidic components and miniaturization of SPR sensor becomes possible, which is necessary for the application of an SPR sensor toward an environmental sensor.
  • 1A1-H14 ゴルフクラブに働く撃力の計測(触覚と力覚), 長谷川 輝, 田中 悠輔, 岩瀬 英治, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2008,   2008年06月06日, We propose a method to detect the impact force which acts on a golf club head with strain sensors. This method is capable of measuring compression force and shear force and estimating the impact point. We made the large scale model for the impact measurement of a golf club and a ball. We also embedded in a golf club head two MEMS strain sensor units which size was 2 mm x 2 mm x 0.8 mm. This unit detected the strains of 10 kHz on impact in 0.4 ms. The result by the sensor was superior to that by a high speed camera in time resolution.
  • 1P1-F04 電動羽ばたき機を用いた昆虫の飛翔の研究(飛行ロボット・メカトロニクス), 加藤 浩気, 橋本 温之, 岩瀬 英治, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2008,   2008年06月06日, We have developed a battery-powered ornithopter to investigate the kinematic variation as the stroke amplitude changed. The ornithopter was designed to have 110 mm wing semi-span so that Reynolds number was the same order as that of insects (Re 〜 10^4). Free flights of the ornithopter in various stroke amplitudes were recorded with a high-speed camera at 1000 fps, and their motions were analyzed. We clarified that the body angle increased from 14 degree to 100 degree as stroke amplitude increased from 48 degree to 78 degree. We were also able to measure angular velocity and acceleration of the ornithopter with 300 [Hz] for 0.4 [s] during free flight using gyro sensor and acceleration sensor. The circuits weigh 0.71 [g] and 0.83 [g], which were light enough to attach on the ornithopter. On each circuit, sensor output was once stored in EEPROM, and retrieved later. We demonstrated our ornithopter with sensors was useful in measuring kinematic parameters in free flight.
  • 1P1-H08 ヘルムホルツ共鳴を利用したマイクロ超音波センサ(非接触センシング), 鈴木 明, 高橋 英俊, 岩瀬 英治, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2008,   2008年06月06日, We propose a method to improve the sensitivity of a micro ultrasonic wave sensor using Helmholtz resonance. By this method, we improve the sensitivity by 23.8 [dB], getting 15.5 times greater amplitude of the vibration of the cantilever, which was used as the sensor, compared with the normal cantilever. We also made two more experiments to measure how the sensitivity changed according to the relationship between the resonance frequency of the Helmholtz cabity and the natural frequency of the cantilever. As a result, the sensitivity was the highest when these two frequencies were the same. The peak of resonance was not so sharp that the sensitivity was more than the half of its maximum when the resonance frequency of the Helmholtz cabity was in the range of 92.6 - 108.9% of the natural frequency of the cantilever. Moreover, there was also a peak at the resonance frequency on the frequency properly of the sensor, even if there was a small gap between the two frequencies.
  • 1P1-I05 ひずみセンサを用いた表面形状の推定(触覚と力覚), 宮本 良, 小松 哲, 岩瀬 英治, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2008,   2008年06月06日, We propose a method to measure the shapes of solid surface with a strain sensor. Our device is comprised of two different kinds of cantilevers, which are 8 pressure and 7 shear stress sensors, arrayed alternately in line by 5.0 mm and covered by silicone rubber. Our device offers the detection of concavo-convex shapes by scanning the surface of the object once. With pressing, releasing and sliding motion, our device detected one convex shape within a 1.0 mm error and two convex shapes within a 3.0 mm error. In addition, we demonstrated that various types of object shapes were detected by our device with tracing motion.
  • 2A1-C19 酸素飽和度および脈拍計測のための埋め込み型無線計測デバイス(医療・福祉ロボティクス・メカトロニクス), 土肥 徹次, 桑名 健太, 橋本 康史, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2008,   2008年06月06日, In this study, we report on an implantable wireless device for measuring the oxygen saturation and the heartbeat. The device consists of a sensor part, a data transfer part, and a power supply part. We fabricated the test device for the sensor part. We measured the oxygen saturation and the heartbeat from an index finger. The heartbeat and the oxygen saturation were 82 times/min and 81.5 %, respectively. Then we fabricated the prototype, which has all functions of the implantable wireless device. The prototype was waterproof for implanting the device into the human body. We were able to receive the heartbeat signal from the prototype in water.
  • 2P1-A22 圧電発電によって駆動するセンサ情報送信システム(エコ・ロボティクス・メカトロニクス), 鈴木 孝太郎, 岩瀬 英治, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2008,   2008年06月06日, We propose a wireless signal transmitting system by gaining energy from the surroundings. As all of energy needed by this system is gained from the surroundings, there are no necessities for refilling fuel or changing battery. For example, Tire Pressure Monitoring System (TPMS) needs such a maintenance-free sensor system. The system consists of a piezoelectric generator, a capacitor, and a circuit. The circuit watches the capacitor's storage and supplies energy to the transmitter. We made an experiment to gain energy from the deformation of a car wheel with the generator. The energy from the environment is estimated to be about 20mW. This estimation shows that we can drive a transmitter for 1 second after 7 second's charge. We were also able to drive the transmitter in another environment from which the generator gains a little energy, so this system is available not only on wheel's surface but also in general environments.
  • 1505 平面型マイクロコイルを用いた局所高分解能MRIに関する研究(口頭講演,トピックスセッション:革新的診断治療), 土肥 徹次, 高橋 英俊, 桑名 健太, 松本 潔, 下山 勲, IIP情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集, 2008,   2008年03月17日, This paper reports on a micro planar coil as a receiver for a high resolution MRI (Magnetic Resonance Imaging). In this study, a micro planar coil of 10 mm in diameter was fabricated. The MRI signal receiving device was made by attaching the micro coils to the tip of acrylic pipes. The signal to noise ratio of MR image taken by the micro planar coil was 8 times as high as MR image taken by medical MRI coil. MR images of okra (Abelmoschus esculentus) were acquired with 2.0×2.0×2.0 mm^3 and 0.5×0.5×1.0 mm^3 resolutions.
  • 219 マイクロ樹脂成形による翅脈付き翼を持つ蝶型羽ばたき機(OS3-2:生物遊泳・飛翔とバイオミメティクス(2),OS3:生物遊泳・飛翔とバイオミメティクス), 田中 博人, 松本 潔, 下山 勲, バイオエンジニアリング講演会講演論文集, 2007, (20) 75 - 76,   2008年01月24日
  • 1A2-A10 せん断応力センサを用いた安定した物体把持のための重心検出(触覚と力覚), 田中 悠輔, 森本 雄矢, 岩瀬 英治, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2007,   2007年05月11日, We proposed a method to detect the center of gravity (CG) in an object with a cantilever-type of tactile sensor. This sensor is covered with elastic body and the size of the sensor is 20mm × 20mm × 8mm. This sensor is capable of measuring shear force, moment, and grip force. The detectable shear force was limited down to 1×10^<-1> N, and the detectable moment was limited down to 1×10^<-3> Nm. We attached the sensor on a robot hand and the CG of objects (80 g, 120 g, and 200g) were detected within a 2.5 mm error. We also fabricated matrix sensors comprising 9 tactile sensors. We detected the CG of a 1.5 kg-object by using the matrix sensors within a 10 mm error, which shows the feasibility of stable grasp with our matrix sensors.
  • 1A2-A11 せん断応力センサを用いた表面形状の検出(触覚と力覚), 石滝 公一, 岩瀬 英治, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2007,   2007年05月11日, In this paper, we proposed a method to measure the shapes of objects with a shear stress sensor comprising cantilevers arrayed in line and covered by silicon rubber. Our sensor system offers the detection of concavo-convex shapes by scanning the surface of the object once. In the detection experiment, we observed the minimum width of convex shape was 3 mm, and the minimum gap of concave shape was 17 mm. In addition, we demonstrated that various types of object shapes such as diagonal, circle and circular ring were detected by this method.
  • 1P1-C09 べん毛型螺旋スクリューの推進特性(バイオミメティクス・ロボティクス), 岩井 孝介, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2007,   2007年05月11日, Propulsive force generated by helical screw propellers based on bacterium flagellum was measured. We made a model of a helical screw and calculated the propulsive force produced by the helical screw. This model was made by separating the drift force into the vertical and horizontal direction because in low Reynolds number flow drift force is dominant. We used fifteen helical screws of different diameter and length. We measured the propulsive force of these helical screws by rotating them in glycerin. We also observed the surrounding water in order to measure the relative speed of the water. Measured propulsive force matched with calculated propulsive force by taking the relative speed in count.
  • 2A2-B06 小型羽ばたきロボットを用いた羽ばたき飛行の研究(飛行ロボット・メカトロニクス), 奥村 亮, 高納 尚徳, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2007,   2007年05月11日, We developed a motor-driven ornithopter for investigating the relationship between flapping frequencies and flight kinematics of insects. Wings were designed to have 150 mm span so that Reynolds number of the ornithopter was the same order as that of insects (Re〜10^4). Flights of the ornithopter were recorded with a high speed video camera in flapping frequencies from 9.9 Hz to 13.3 Hz, and their motions were analyzed. We clarified the mean angle of attack decreased as the flapping frequency became higher. We also developed FM-telemetry system to measure directly aerodynamic forces generated by wings in free flight. The telemeter was miniaturized to attach to the ornithopter. The total size and weight were respectively 30 mm×15 mm and 1.33 g. To estimate aerodynamic forces, we measured the moment of the leading edge of the wing with strain gages. We found the difference of aerodynamic forces between in free flight and in tethered state.
  • 反射光強度を用いた動脈血酸素飽和度計測の研究, 高河原和彦, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2006,   2006年05月26日
  • トンボ型飛行における羽ばたき位相差の影響の研究, 高橋英俊, 田中博人, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2006,   2006年05月26日
  • レーザー走査による曲面立体視ディスプレイ, 大堀敬広, 村木大仁, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2006,   2006年05月26日
  • マイクロ構造を用いた疎水性表面間相互作用力の距離依存性の測定, 大竹智尚, 尾上弘晃, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 53rd,   2006年03月22日
  • 実世界情報システムプロジェクト ロボット研究グループ マイクロ・ナノ融合技術を用いたユビキタス生活デバイスの実現, 下山勲, 松本潔, 星野一憲, 東京大学21世紀COE情報科学技術戦略コア 平成17年度 報告書,   2006年
  • 模型羽ばたき飛行機を用いた昆虫飛翔の研究, 田中博人, 高橋英俊, 松本潔, 下山勲, 飛行機シンポジウム講演集(CD-ROM), 44th,   2006年
  • 実世界情報システムプロジェクト~ロボット研究グループ~, 稲葉雅幸, 稲邑哲也, 加賀美聡, 佐藤知正, 森武俊, 森下広, 野口博史, 下山勲, 松本潔, 星野一憲, 東京大学21世紀COE情報科学技術戦略コア 平成17年度 報告書,   2006年
  • 1A1-A19 反射光強度による動脈血酸素飽和度計測の研究, 高河原 和彦, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2006,   2006年, We proposed the method of obtaining a strong reflected light from a deep artery to expand the area where the oxygen saturation level can be measured. We fabricated the phantoms which imitated an optical characteristic of human body. An artery model was laid inside the phantom. We irradiated the light of a LED to the phantom, and measured reflected light from the artery model in the phantom by a photodiode. We obtained a strong reflected light from a deep artery model by adjusting the distance between LED and a photodiode. We conducted a similar experiment using the human body, and verified the efficacy of adjusting the distance between a LED and a photodiode.
  • 1P1-D14 レーザー走査による曲面立体視ディスプレイ, 大堀 敬広, 村木 大仁, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2006,   2006年, We studied on a curved surface stereoscopic display using laser scanning. We spotlighted a screen with a laser beam and made small pixels. The laser beam was scanned in two dimensions using a rotating polygon mirror and an oscillating mirror. And the screen was placed on the focal surface of an optical system. The focal surface was a circular arc with its center at a reflecting point on the polygon mirror. And we controlled the blinking of the laser light. With this device, we draw two dimensional images on the curved surface screen. We attached a lenticular lens to the screen and displayed directional images. As a result, we achieved the curved surface stereoscopic display which could generate three directional images simultaneously.
  • 無尾翼羽ばたき機を用いた蝶の飛行メカニズムの研究, 田中博人, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会年次大会講演論文集, 2005, (Vol.2) 131 - 132,   2005年09月18日
  • カプセル内視鏡の姿勢制御の研究, 辻内直子, 桑名健太, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2005,   2005年06月09日
  • レーザー走査による立体視ディスプレイ, 北川広明, 実国幸夫, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2005,   2005年06月09日
  • はばたき飛行機のホバリングに関する研究, 田地正樹, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2005,   2005年06月09日
  • 感覚毛型センサを用いた角加速度計測の研究, 武居淳, 善見誠一, 尾上弘晃, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2005,   2005年06月09日
  • 微小力計測センサを用いたマイクロマニピュレータの力覚システム, NGUYEN B.Khiem, 斉藤滋, 酒造正樹, 尾上弘晃, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2005,   2005年06月09日
  • 感光性タンパク質を用いた光センサの試作とその特性, 高松誠一, 星野一憲, 松本潔, 宮坂力, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 22nd,   2004年09月15日
  • チョウ型羽ばたき飛行の研究, 田中博人, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 22nd,   2004年09月15日
  • 表面修飾したマイクロチャネル内混相流の流動特性(流路の構成とSAM修飾法), 市川安孝, 尾上弘晃, 下山勲, 松本潔, 星野一憲, 日本混相流学会年会講演会講演論文集, 2004,   2004年08月
  • 動的点字表示方式の研究, 小宮篤人, 久田幸平, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2004,   2004年06月18日
  • 複数観察者を対象とした個別情報提示, 東原正和, 西村勇一, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2004,   2004年06月18日
  • 携帯可能な匂い提示機構の研究, 山田智也, 菱沼徹哉, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2004,   2004年06月18日
  • 自己形状認識複眼型センサを用いた入力デバイス, 木下英之, 寒川新司, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2004,   2004年06月18日
  • ユビキタスアシスタントロボットの研究, 宮崎健太郎, WAHYUDI K A, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2004,   2004年06月18日
  • MEMS力計測カンチレバーによる液中平面間の界面せん断力の計測, 尾上弘晃, GEL M, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 51st,   2004年03月28日
  • 有機半導体を用いた複眼型フレキシブルフォトセンサ, 斎藤宏, 岩瀬英治, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 51st,   2004年03月28日
  • 半導体ナノ粒子の静電トラップによるナノサイズ発光ダイオード, 山田幸一, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 応用物理学関係連合講演会講演予稿集, 51st,   2004年03月28日
  • pHによるマイクロ粒子自己組立ての結合力制御, 尾上弘晃, 松本潔, 下山勲, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集, 20th,   2003年07月23日
  • 微小集光プローブを用いた細胞用蛍光計測システム, 菅哲朗, 松本潔, 下山勲, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム講演概要集, 20th,   2003年07月23日
  • 匂い源探索ロボットの研究, 尾上慎介, 高橋聖, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2003,   2003年05月23日
  • はばたき飛しょうにおける方向転換メカニズムの研究, 高松誠一, 広藤誠, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2003,   2003年05月23日
  • モバイル用ポインティングシューズ, 竹井裕介, 菱沼徹哉, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2003,   2003年05月23日
  • 倒立振子型ユビキタスアシスタントロボットの研究, 新宮泰弘, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集(CD-ROM), 2003,   2003年05月23日
  • 2. ひずみゲージを応用した歯の6自由度変位測定装置の開発(第27回学術大会), 新木 敏之, 三浦 宏之, 岡田 大蔵, 石原 弘文, 森川 理, 徳田 彩子, 星野 紘子, 池田 あゆみ, 岡野 雄一郎, 松本 潔, 中尾 政之, 日本顎口腔機能学会雑誌, 9, (1) 68 - 70,   2002年11月30日
  • 1. 歯冠内に埋入可能な小型三次元咬合力センサの開発(第27回学術大会), 石原 弘文, 三浦 宏之, 岡田 大蔵, 新木 敏之, 徳田 彩子, 森川 理, 星野 紘子, 池田 あゆみ, 岡野 雄一郎, 松本 潔, 中尾 政之, 日本顎口腔機能学会雑誌, 9, (1) 66 - 67,   2002年11月30日
  • 2P2-C04 トンボ型飛行における羽ばたき位相差の影響の研究, 高橋 英俊, 田中 博人, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2006,   2006年, We reported on the effect of the phase relationship between forewings and hindwings in the dragonfly flight. The dragonfly-type ornithopters (DTOs) were developed to investigate the flapping flight. The wing span of DTO is 100 mm long. Reynolds number is the same order as Dragonfly's Reynolds number (10^3). Flights of DTOs with various phase relationships were recorded with a high speed video camera, and their motions were analyzed. We also visualized air flow around the wings in a wind tunnel. We demonstrated that there are phase relationships for accelerating flight (45°), low speed flight (180°), high speed flight (270°,315°). This relationship between flight and phase almost matched that of dragonflies.
  • 223 無尾翼羽ばたき機を用いた蝶の飛行メカニズムの研究(S38-2 小型飛翔体(2),S38 生物飛行と小型飛翔体), 田中 博人, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, 年次大会講演論文集 : JSME annual meeting, 2005, (2) 131 - 132,   2005年09月18日, A butterfly-type ornithopter (BTO) was developed to investigate flapping flight of butterflies. The BTO has the same values of wing length, flapping frequency and wing loading as butterflies. It flew forward when its center of gravity was appropriate. Its longitudinal motion was measured with a high-speed video camera. We found that the angle of attack of the body axis, α_, varied coincidentally with flapping motion. Periodical change of α_ in the flight of a real butterfly was also observed. To reveal the effect of the change of abody on the aerodynamics, we visualized the flow around the BTO both in tethered flight and in free flight. In tethered flights, leading edge vortex was attached to the wing during downstroke when α_ was 20°, but it separated from the wing when α_ was 40°. However, in a free flight, leading edge vortex was attached to the wing in spite of the large value of α_, 50°, in the beginning of downstroke.
  • 1A1-N-062 レーザー走査による立体視ディスプレイ(VRとインタフェース,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション), 北川 広明, 實國 幸夫, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2005,   2005年06月09日
  • 2A1-N-080 微小力計測センサを用いたマイクロマニピュレータの力覚システム(マイクロナノ作業1,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション), グェン ビン キェム, 齊藤 滋, 酒造 正樹, 尾上 弘晃, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2005,   2005年06月09日
  • 2P1-N-087 感覚毛型センサを用いた角加速度計測の研究(MEMSとナノテクノロジー2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション), 武居 淳, 善見 誠一, 尾上 弘晃, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2005,   2005年06月09日
  • オンチップ流動センサーの特性, 市川保正, 星野一憲, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会熱工学部門講演会講演論文集, 2002,   2002年11月06日
  • SAMによる表面化学修飾を利用したマイクロ3次元自己組み立て, 尾上弘晃, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM), 20th,   2002年10月12日
  • マイクロレンズアレイによる移動体の検出, 高畑智之, 横山智史, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集, 2002,   2002年06月07日
  • 指の機構の解析に基づく人工の手の研究, 菅原道人, 川元康裕, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集, 2002,   2002年06月07日
  • 歯の噛み合わせ時の6軸力・変位測定システムの開発, 岡野雄一郎, 松本潔, 中尾政之, 石原弘文, 三浦宏之, 日本ME学会大会論文集, 41st,   2002年05月09日
  • コア押出機構と小形センサ群を用いる微細構造転写用射出成形, YAN C, 中尾政之, 呉大平, 松本潔, 畑村洋太郎, 成形加工シンポジア, 2001,   2001年09月27日
  • 低速領域における感覚毛型気流センサの特性, 尾崎至弘, 安田隆, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集, 19th,   2001年09月18日
  • 低速領域における感覚毛型気流センサの特性, 尾崎至弘, 安田隆, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集, 19th,   2001年09月18日
  • 21世紀初頭を拓くキーテクノロジー 新世代へのナノテクノロジー ナノマニファクチャリングワールド, 松本潔, 技術と経済, (400) 22 - 31,   2000年06月01日
  • 新世代へのナノテクノロジー--ナノマニファクチャリングワールド (特集 21世紀初頭を拓くキーテクノロジー--科学技術2010年の展望), 松本 潔, 技術と経済, (400) 22 - 31,   2000年06月
  • ナノ・マニュファクチャリング・ワールド, 松本潔, 技術予測シンポジウム予稿集, 28th,   2000年03月22日
  • 微小流路における流体の挙動を観測するための石英ガラス製オンチップラボの開発, 大井健, 村井賢郎, 畑中元秀, 松本潔, 中尾政之, 畑村洋太郎, 日本機械学会年次大会講演論文集, 1999, (Vol.1) 421 - 422,   1999年07月26日
  • 3軸ネガティブコンプライアンス素子を用いた高精度平面研削の試み, 松本 潔, 畑村 洋太郎, 中尾 政之, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1998,   1998年03月05日
  • DNA伸長のためのオンチップラボラトリの試み, 松本潔, 平山博士, 大井健, 大坪正人, 中尾政之, 畑村洋太郎, 日本機械学会年次大会講演論文集, 1999, (Vol.1) 423 - 424,   1999年07月26日
  • MEMS 2005国際会議報告, 松本 潔, 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society, 125,   2005年06月01日
  • 2P1-S-063 はばたき飛行機のホバリングに関する研究(飛行ロボット4,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション), 田地 正樹, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2005,   2005年06月09日
  • 2P1-N-114 カプセル内視鏡の姿勢制御の研究(医療福祉ロボティクス・メカトロニクス4,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション), 辻内 直子, 桑名 健太, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2005,   2005年06月09日
  • 3軸ネガティブコンプライアンス素子を用いた高精度平面研削の試み, 松本潔, 畑村洋太郎, 中尾政之, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1998,   1998年03月
  • 微小な化学・生命反応を観測するための石英ガラス製オンチップラボラトリの開発, 中尾正之, 松本潔, 村井賢郎, 畑村洋太郎, 川上崇章, 日本機械学会通常総会講演会講演論文集, 75th, (4) 21 - 22,   1998年03月
  • ネガティブコンプライアンス素子を用いた高精度平面研削の試み, 松本 潔, 畑村 洋太郎, 中尾 政之, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1997, (1) 663 - 664,   1997年03月01日
  • アクチュエーション機能を備えたアクティブ力センサの開発, 松本潔, 畑村洋太郎, 中尾政之, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1997,   1997年09月
  • 複数観察者を対象とした個別情報提示の研究(VRとインタフェース1), 東原 正和, 西村 勇一, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2004,   2004年06月18日
  • 自己形状認識複眼型センサを用いた入力デバイス(バイオメカトロニクス/ミメティクス), 木下 英之, 寒川 新司, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2004,   2004年06月18日
  • 携帯可能な匂い提示機構の研究(VRとインタフェース2), 山田 智也, 菱沼 徹哉, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2004,   2004年06月18日
  • 動的点字表示機構の研究(VRとインタフェース2), 久田 幸平, 小宮 篤人, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2004,   2004年06月18日
  • ユビキタスアシスタントロボットの研究(ホームロボット・メカトロニクス2), 宮崎 健太郎, ワヒュディ カルティカアグン, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2004,   2004年06月18日
  • 1P1-1F-D2 匂い源探索ロボットの研究, 尾上 愼介, 高橋 聖, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2003,   2003年, カイコガの定位行動を参考にして, 匂い源(ガス源)探索アルゴリズムを考案した。それらの比較実験を2つの半導体ガスセンサを搭載したロボットを用いて行い, 効率よく匂い源に到達できるアルゴリズムに関する考察を行った。
  • 1P1-1F-E7 はばたき飛翔における方向転換メカニズムの研究, 高松 誠一, 廣藤 誠, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2003,   2003年, はばたき飛翔する飛行機と, 左右ではばたき方やバランスが異なる飛行機を使って, その飛翔軌跡を解析した。両者の解析結果と比較し, はばたき飛翔における最適な方向転換のメカニズムを明らかにした。
  • 2A1-1F-E7 倒立振子型ユビキタスアシスタントロボットの研究, 新宮 泰弘, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2003,   2003年, ユビキタス社会にロボットがどのように適用できるかを研究した, 具体的には転倒せずに人に追従し, その頭部には PDA を搭載した倒立振子型のロボットで, 人間のアシストの方法を提唱した。
  • 2P2-2F-E5 モバイル用ポインティングシューズの研究, 竹井 裕介, 菱沼 徹哉, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2003,   2003年, モバイル環境でのポインティング操作に足を使用する方式を考察し, 加速度センサと感圧センサを用いてデバイスを製作してその特性を評価した。その結果, 短時間で習熟でき, また立った状態でも座った状態と同等の効率で入力が行なうことができ, 携帯端末のポインティングデバイスとして使えることが分かった。
  • C162 オンチップ流動センサーの特性, 市川 保正, 星野 一憲, 松本 潔, 下山 勲, 熱工学講演会講演論文集, 2002,   2002年11月06日, The control of fluid flow in the micro channel is becoming an important technique in the development of the micro device for the vaio technology. This research focuses on the on-chip controller of a flow in a micro channel, and on the development of a control element. In this presentation, the characteristic of three kinds of sensors that have possibility of an on-chip fabrication are reported. The fabricated micro channel consists of the micro venturi, the mass flow meter, and the hot wire. The characteristic was investigated in the various conditions of the flow velocity and the several conditions of the channels.
  • 2A1-F10 マイクロレンズアレイによる移動物体の速度検出, 高畑 智之, 横山 智史, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2002,   2002年, 移動体の2次元速度の検出には様々な方法が提案されている。本研究では, 昆虫の複眼においてレンズ, 受容体, 低次の神経系が一対一に対応していることにヒントを得て, 小さなシステムで移動物体の速度検出が可能であることを示す。マイクロレンズアレイを用いることによりレンズと受光素子の距離を短くし, 2つの局所的速度(local speed)を用いることで全体の速度(global speed)を検出した。
  • 2P2-F06 指の機構の解析に基づく人工の手の研究, 菅原 道人, 川元 康裕, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集, 2002,   2002年, 本研究の目的は人間の手の機構を規範としたロボットハンドを設計・製作し, さらにその有効性を実証することである。まず人間の手の機構を解析し, 基本モデルを決定した。次に基本モデルを解析し腱の張力と指先の力の関係を求めた。さらに実モデルを作成し, 指先位置と指先力の関係を測定した。理論値と実測値より, 基本モデルが効率よく力を発生できる条件を求めた。評価の際, アクチュエータは生体筋と似た特性を持つ人工筋を用いた。
  • ネガティブコンプライアンス素子を用いた高精度平面研削の試み, 松本潔, 畑村洋太郎, 中尾政之, 精密工学会大会学術講演会講演論文集, 1997, (Spring 2) 663 - 664,   1997年03月
  • 微細組立用画像利用操作システムの構築 ナノ・マニュファクチャリング・ワールドの構築 6, 大草武徳, 中尾政之, 畑村洋太郎, 松本潔, 日本機械学会通常総会講演会講演論文集, 74th, (4) 316 - 317,   1997年03月
  • 微小領域の化学・生物学反応を分子的に分析するためのナノチャネルの試み, 中尾政之, 松本潔, 川上崇章, 畑村洋太郎, 日本機械学会通常総会講演会講演論文集, 74th, (4) 312 - 313,   1997年03月
  • 超高密度光記録, 伊藤 顕知, 松本 潔, メカライフ : 機械系学生の情報誌, 40,   1995年06月15日
  • 3次元スポットウォブリングを用いた焦点およびトラックずれ信号検出方式, 松本潔, 前田武志, 電子情報通信学会大会講演論文集, 1991,   1991年09月

書籍等出版物

  • 設計者に必要なメカトロニクスの基礎知識-これだけは知っておきたいメカトロの理論と実際- (実際の設計選書)
    松本 潔
    単著日刊工業新聞社  2015年02月26日
  • 実際の設計 改訂新版 機械設計の考え方と方法
    畑村洋太郎編著、実際の設計研究会著
    共著  2014年
  • 実際の設計 第7巻 成功の視点
    畑村洋太郎編著、実際の設計研究会著
    共著  2010年
  • マイクロ・ナノ熱流体ハンドブック
    マイクロ・ナノ熱流体ハンドブック編集委員会
    共著  2006年
  • 実際の設計 第6巻 技術を伝える
    畑村洋太郎編著、実際の設計研究会著
    単著  2006年
  • 実際の設計 第5巻 こう企画した
    畑村洋太郎編著、実際の設計研究会著
    共著  2004年
  • 実際の設計 第4巻 こうして決めた
    畑村洋太郎編著、実際の設計研究会著
    共著  2002年
  • 実際の設計
    畑村洋太郎編著、実際の設計研究会著
    共著  1999年
  • 実際の情報機器技術 情報機器の原理・設計・生産・将来
    畑村洋太郎、中尾政之編著
    共著  1998年
  • 続々・実際の設計 失敗に学ぶ
    畑村洋太郎編著、実際の設計研究会著
    共著  1996年
  • 東京大学機械工学1 情報機器技術
    畑村洋太郎編
    共著  1993年
  • 設計の原理-創造的機械設計論-
    NPスー著、畑村洋太郎監訳
    共訳  1992年
  • 続・実際の設計 機械設計に必要な知識とデータ
    畑村洋太郎編著、実際の設計研究会著
    共著  1992年

講演・口頭発表等

  • シリコン‐ガラスハイブリッドレンズを用いた温度画像・色画像同軸撮影システム, 高畑智之, 松本潔, 下山勲, 日本ロボット学会学術講演会予稿集(CD-ROM),   2015年09月03日
  • 液滴の滑りメカニズムを解明するためのMEMS力センサ, NGUYEN Thanh‐Vinh, 高橋英俊, 松本潔, 下山勲, 電気学会フィジカルセンサ研究会資料,   2015年07月02日
  • MEMSセンサを用いた摂食・嚥下の評価, 竹井裕介, 鈴木智絵, 野田堅太郎, 高畑智之, 松本潔, 下山勲, 電気学会バイオ・マイクロシステム研究会資料,   2015年05月29日
  • 圧力変動検出スイッチを付加したイベントドリブン型塵埃量センサの開発, 海法克享, 高橋英俊, 富松大, 小林健, 松本潔, 下山勲, 伊藤寿浩, 前田龍太郎, 精密工学会大会学術講演会講演論文集,   2015年03月01日
  • MEMS可変スパイラルメタマテリアルのテラヘルツ応答, 菅哲朗, 磯崎瑛宏, 神田夏輝, 根本夏紀, 小西邦昭, 五神真, 松本潔, 下山勲, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM),   2015年02月26日
  • ヘルムホルツ共振器を用いた平面型音響ノッチフィルター素子, 磯崎瑛宏, 高橋英俊, 田村洋人, 高畑智之, 松本潔, 下山勲, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM),   2015年02月26日
  • B-23 ラグビーのパスにおける指先力の計測(人体計測,パラリンピック1), 竹井 裕介, 田中 遼平, 中井 亮人, 高畑 智之, 松本 潔, 下山 勲, シンポジウム: スポーツ・アンド・ヒューマン・ダイナミクス講演論文集,   2014年10月29日, In this research, we measured the force acting on tip of the finger when rugby player throwing spin pass. We put five sensors on the fingers. The sensor can measure three axis force (pressure and two axis shear force). Three examinee, which rugby experiences were varied from 13years to none-experience, threw spin passes three times each and the ball moving speed and rotating speed were measured. From the data analysis, 13-years-experienced rugby player threw the ball concentrating the force in 0.04 seconds just before releasing the ball to increase the rotating speed.
  • J0220203 アリの登攀時の床裏反力の計測([J022-02]生物規範メカニクス・システム:生物の運動、力学及びミメティクスセッション(2)), 高橋 英俊, 松本 潔, 下山 勲, 年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan,   2014年09月07日, This paper reports on measurement of ground reaction forces (GRFs) of ant legs during running on level ground, vertical wall and ceiling. Micro force plate array is designed and fabricated to measure anterior and vertical directional forces. Thus, GRF of all legs in the various ground angles can be detected simultaneously. The size and force resolution are 2000 μm × 1000 μm × 20 μm and 1 μN, respectively. The measurement results show that ants use different GRF distribution in three types of terrestrial locomotion. In every types of locomotion, the ant was affected by the gravity reaction force, which was totally equal to the body weight. The gravity reaction force was approximately equal to each leg during running on level ground and ceiling. The gravity reaction force during ceiling was thought to be generated by the adhesion force of sub-micron scale hairs on the tip of the legs. The measured GRF distribution clarified that ants use the different strategies of running mechanism depending on the angle of the ground against the horizon plane.
  • 金回折格子によるSPRを用いた近赤外光Siディテクタアレイ, 菅哲朗, 松本潔, 下山勲, 安食嘉晴, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料,   2014年05月27日
  • サブミクロンギャップを有するMEMS可変メタマテリアルの製作と設計, 磯崎瑛宏, 菅哲朗, 高橋英俊, 根本夏紀, 小西邦昭, 五神真, 松本潔, 下山勲, 神田夏輝, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料,   2014年05月27日
  • 3A1-K05 羽ばたき機を用いた8の字羽ばたき運動時の翼面圧力差計測(バイオミメティクス・バイオメカトロニクス), 風間 涼平, 高橋 英俊, 平川 真之介, 高畑 智之, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集,   2014年05月24日, We measured the differential pressures of an ornithopter whose stroke trajectory was a figure of eight. Simultaneously, we visualized the flow around wing surface, and analyzed the differential pressures to connect it. To measure the pressure, we attached a MEMS differential pressure sensor on the wing surface. We designed the ornithopter which could operate a flapping motion and a lead-lag motion at the same time. The ornithopter worked by an electric motor and its flapping frequency was 6-8 Hz. The consequence of this experiment suggests that the peak of the differential pressures and the vortex around wing surface occuur at the same time during the flapping.
  • 3P1-P06 走行時にスパイクピンに働く力の計測(感覚・運動・計測(2)), 石堂 寛士, 堀 正峻, 中井 亮仁, 高畑 智之, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集,   2014年05月24日, In this paper, we report a method to measure the force of a spike pin in running. To measure the force of the spike pin, we fabricated a spike-pin-shaped sensor using MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 3-axis force sensor chip. The sensor consisted of a 2 mm square 3-axis force sensor chip and spike-pin-shaped epoxy resin which covered the sensor chip. The sensor was attached on a position of big toe on the right spike shoe to measure 3-axis forces when the subject was walking at 4.0 km/h and 5.2 km/h, and running at 9.2 km/h. Among 3-axis forces, the vertical component was the largest, the propulsive component was second largest, and left-right component was the smallest. The direction of impulse was upward, forward, and leftward. The faster the gait speed was, the larger the resultant force was.
  • 3P2-N06 音響インピーダンス整合したMEMS筋音センサ(感覚・運動・計測(3)), 青木 亮, 金子 智則, Minh-Dung Nguyen, 高畑 智之, 松本 潔, 下山 勲, ロボティクス・メカトロニクス講演会講演概要集,   2014年05月24日, We have proposed the high sensitive device that can detect high frequency spectrum of mechanomyogram. The study of high frequency spectrum of mechanomyogram has been superficial because such a sensitive transducer has never been developed. Acoustic impedance matching and a differential pressure sensor are the key to solve this problem. We fabricated two sensors to compare frequency characteristic, one with acoustic impedance matching and the other without it. The result of the experiment was that SN ratio of the sensor with acoustic impedance matching was about up to 700 times larger than that of the sensor without acoustic impedance matching. In addition to this, we were able to measure mechanomyogram using the sensor with acoustic impedance matching and found that up to approximately 1 kHz spectrum of mechanomyogram was detected.
  • B-1-83 液滴変形によるアクティブパッチアンテナの検討(B-1.アンテナ・伝播B(アンテナ一般),一般セッション), 大門 真, 藤川 久喜, 野田 堅太郎, Nguyen Binh-Khiem, 松本 潔, 下山 勲, 電子情報通信学会総合大会講演論文集,   2014年03月04日
  • 液滴変形によるアクティブパッチアンテナの検討, 大門真, 藤川久喜, 野田堅太郎, BINH‐KHIEM Nguyen, 松本潔, 下山勲, 電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM),   2014年03月04日
  • テラヘルツ帯メタマテリアルにおけるSRRのカップリング現象, 磯崎瑛宏, 菅哲朗, 高野恵介, 萩行正憲, 松本潔, 下山勲, 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM),   2014年03月03日
  • AlNカンチレバーを用いた高感度低消費電力の圧力変動検出スイッチ, 海法克享, 高橋英俊, 富松大, 小林健, 松本潔, 下山勲, 伊藤寿浩, 前田龍太郎, 精密工学会大会学術講演会講演論文集,   2014年03月01日
  • ラグビーのパスにおける指先力の計測, 竹井裕介, 田中遼平, 中井亮人, 高畑智之, 松本潔, 下山勲, 日本機械学会シンポジウム:スポーツ・アンド・ヒューマン・ダイナミクス(CD-ROM),   2014年
  • 無線センサネットワーク端末のための微小圧力変化検出スイッチ, 海法克享, 高橋英俊, 富松大, 小林健, 松本潔, 下山勲, 伊藤寿浩, 前田龍太郎, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM),   2014年
  • 薄膜Si上に形成したMEMS可変メタマテリアルにおけるフレームの影響, 磯崎瑛宏, 菅哲朗, 高橋英俊, 松本潔, 下山勲, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM),   2014年
  • MEMS心音センサの研究, 竹井裕介, 青木亮, 金子智則, 松本潔, 下山勲, センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM),   2014年
  • イオン性液体を用いたフレキシブル三軸力センサ, 野田 堅太郎, 松本 潔, 下山 勲, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],   2013年11月05日
  • 温度画像と色画像の同時取得のためのシリコン‐ガラスハイブリッドレンズ, 高畑 智之, 松本 潔, 下山 勲, 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],   2013年11月05日
  • 134 MEMS 3軸力センサを用いた階段昇降時の足裏応力分布計測(シューズ・サーフェスほか), 中井 亮仁, 永野 顕法, 高橋 英俊, 松本 潔, 下山 勲, シンポジウム: スポーツ・アンド・ヒューマン・ダイナミクス講演論文集,   2013年11月01日, We proposed a wireless measurement system of 3-axis stress distribution at a human sole by using small and thin 3-axis force sensors. The sensor chips 2mm square made by using MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technologies were mounted on the flexible printed circuit board, wire-bonded and buried in silicone rubber by injection molding to fabricate 3-axis force sensors. After the calibration for crosstalk compensation, these sensors were placed on the insole at the heel, thenar and hypothenar. The 3-axis stress distribution was measured in going up and down stairs. The output signals from sensors were amplified 100 times with Wheatstone bridges and differential amplifiers, converted to digital signals and wirelessly transmitted to PC with a Bluetooth module on the CPU board. Measured data which comprised pressure, shear stress of front-back direction and shear stress of lateral direction were compared with the data in level walking, and were consistent with the somatic sensation of the human subject.
  • 217 3軸力センサを用いた舌の前部および後部の運動計測(生体情報の計測と評価), 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 河合 利彦, 舘村 卓, 外山 義雄, 高井 めぐみ, 松本 潔, 下山 勲, シンポジウム: スポーツ・アンド・ヒューマン・ダイナミクス講演論文集,   2013年11月01日, In this research, we fabricated triaxial force sensors which can measure tongue activities. In order to analyze the role of tongue activity of front part (anterior tongue) and back part (posterior) of the tongue, we fixed two triaxial force sensors to the palate. Our triaxial force sensors also have temperature sensors, which can measure the temperature change in the mouth so that temperature drift of the force sensors output can be compensated. In the liquid-swallowing experiment, pressure and shear force distributions were observed to clarify tongue motion. We measured and calculated anterior and posterior tongue activities during swallowing, and found that anterior tongue activity was larger than posterior tongue activity. These results indicated that the anterior tongue works as an anchor and the posterior tongue works as an actuator which transports the food or liquid to the throat.
  • ヘルムホルツ共鳴器を並列に接続した平面形状の音響メタマテリアル, 田村洋人, 高橋英俊, 高畑智之, 松本潔, 下山勲, 電気学会フィジカルセンサ研究会資料,   2013年08月08日
  • 熱位相遅れを用いた薄膜物質の厚さの非破壊計測, 鈴木崇大, 市川安孝, 高畑智之, 松本潔, 下山勲, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料,   2013年08月08日
  • 集束イオンビームを用いたグラフェンの片持ち梁構造への加工, 松井一真, 稲葉亮, 竹井裕介, 高畑智之, 松本潔, 下山勲, 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料,   2013年08月08日

特許

  • ジャイロセンサ, 下山 勲, 松本 潔, 高畑 智之, 菅 哲朗, 野田 堅太郎, 阮 平謙, 宇佐美 貴徳, 特願2014-266582, 特開2015-227863
  • 圧力センサ, 下山 勲, 松本 潔, 高橋 英俊, グェン ミン ジューン, 内山 武, 大海 学, 篠原 陽子, 特願2014-050552, 特開2015-175643
  • センサ素子、感圧型センサ及び触覚センサ, 下山 勲, 松本 潔, グエン タン ヴィン, 特願2014-002222, 特開2014-134543
  • 圧力センサ, 篠原 陽子, 大海 学, 内山 武, 下山 勲, 松本 潔, 高橋 英俊, グェン ミン ジューン, 特願2013-200077, 特開2014-142330
  • 塵埃量検出装置および塵埃量検出装置の制御方法, 下山 勲, 松本 潔, 高橋 英俊, 伊藤 寿浩, 小林 健, 富松 大, 特願2013-155791, 特開2015-025748
  • 計測装置, 下山 勲, 松本 潔, 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 浜島 朋希, 特願2013-137519, 特開2015-010963
  • 感圧型センサ, 下山 勲, 松本 潔, グェン ビン キェム, グェン ミン ジューン, ファン ホアン フォン, 特願2013-115612, 特開2014-142323
  • 光検出器, 安食 嘉晴, 下山 勲, 松本 潔, 菅 哲朗, 唐木 幸一, 佐々木 靖夫, 八尋 正幸, 濱田 明子, 安達 千波矢, 特願2013-109015, 特開2014-229779
  • 圧力センサ, 下山 勲, 松本 潔, 高橋 英俊, グェン ミン ジューン, 篠原 陽子, 内山 武, 大海 学, 特願2013-046586, 特開2014-173988
  • 接触センサ、接触入力装置および電子機器, 下山 勲, 松本 潔, 高橋 英俊, グェン ミン ジューン, 内山 武, 大海 学, 篠原 陽子, 特願2013-043430, 特開2014-173844
  • 塵埃センサ, 下山 勲, 松本 潔, 菅 哲朗, 高橋 英俊, 特願2013-038248, 特開2013-181983
  • 液体デバイス, 下山 勲, 松本 潔, グェン ビン キェム, 特願2013-032003, 特開2014-163963
  • 液体アクチュエータ, 下山 勲, 松本 潔, 野田 堅太郎, グェン ビン キェム, ディン ホアン ジャン, 特願2013-032004, 特開2014-163964
  • ガスセンサ, 下山 勲, 松本 潔, 竹井 裕介, 高橋 英俊, 氣駕 昇, 本多 祐仁, 特願2013-553247, 特許第5822282号
  • ガスセンサ, 下山 勲, 松本 潔, 竹井 裕介, 高橋 英俊, 氣駕 昇, 本多 祐仁, JP2012083879, WO2013-105449
  • 口腔センサ, 下山 勲, 松本 潔, 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 外山 義雄, 大森 敏弘, 舘村 卓, JP2012081805, WO2013-085038
  • 分析装置, 下山 勲, 松本 潔, 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 木戸 良介, 神谷 哲, 外山 義雄, JP2012066723, WO2013-002380
  • ガスセンサおよびガスセンシング方法, 本多 祐仁, 下山 勲, 松本 潔, 竹井 裕介, 特願2012-141418, 特開2014-006128
  • 計測センサ、及び計測装置, 下山 勲, 松本 潔, 市川 保正, 大山 敦史, 特願2012-124185, 特開2013-250115
  • 蓄電装置ユニット, 宍戸 智彦, 則武 義典, 松本 潔, 特願2012-107337, 特開2012-190808
  • 圧力センサ, 下山 勲, 松本 潔, 高橋 英俊, グェン ミン ジューン, 篠原 陽子, 内山 武, 大海 学, 新荻 正隆, 特願2012-105306, 特開2013-234853
  • 圧力センサ, 下山 勲, 松本 潔, 高橋 英俊, グェン ミン ジューン, 篠原 陽子, 内山 武, 大海 学, 新荻 正隆, 特願2012-105306, 特開2013-234853, 特許第5778619号
  • 撮像装置及び撮像方法, 下山 勲, 松本 潔, 高畑 智之, 菅 哲朗, 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 阮 平謙, 安食 嘉晴, 唐木 幸一, 特願2012-047057, 特開2013-180120
  • 近接場照明光学系、近接場光学顕微鏡および近接場光形成方法, 塚越 拓哉, 唐木 幸一, 佐々木 靖夫, 安食 嘉晴, 下山 勲, 松本 潔, 高畑 智之, 菅 哲朗, 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 特願2012-031703, 特開2013-167569
  • ガスセンサ, 下山 勲, 松本 潔, 菅 哲朗, 竹井 裕介, 高橋 英俊, 石津 光太郎, 本多 祐仁, 特願2012-004964, 特開2013-145137
  • ガスセンサ, 下山 勲, 松本 潔, 菅 哲朗, 竹井 裕介, 高橋 英俊, 石津 光太郎, 本多 祐仁, 特願2012-004964, 特開2013-145137, 特許第5777063号
  • 差圧センサ, 下山 勲, 松本 潔, ▲たか▼畑 智之, 菅 哲朗, 桑名 健太, 高橋 英俊, グェン ミン ジューン, JP2012050321, WO2012-102073
  • 差圧センサ, 下山 勲, 松本 潔, ▲たか▼畑 智之, 菅 哲朗, 桑名 健太, 高橋 英俊, グェン ミン ジューン, 特願2012-554710, 特許第5674167号
  • 触覚センサ及び多軸触覚センサ, 下山 勲, 松本 潔, 中井 亮仁, 高橋 英俊, 特願2011-206966, 特開2013-068503
  • ジャイロセンサ, 下山 勲, 松本 潔, 高畑 智之, 菅 哲朗, 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 唐木 幸一, 佐々木 靖夫, 安食 嘉晴, 塚越 拓哉, 特願2011-154257, 特開2013-019813
  • 電磁波素子, 下山 勲, 松本 潔, 高畑 智之, 菅 哲朗, 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 唐木 幸一, 佐々木 靖夫, 安食 嘉晴, 塚越 拓哉, 特願2011-154254, 特開2013-020152
  • 撮像素子およびこれを用いた撮像装置, 下山 勲, 松本 潔, 高畑 智之, 菅 哲朗, 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 唐木 幸一, 佐々木 靖夫, 安食 嘉晴, 塚越 拓哉, 特願2011-154270, 特開2013-021569
  • 光学情報伝達素子及び光学情報伝達機構, 下山 勲, 松本 潔, 高畑 智之, 菅 哲朗, 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 唐木 幸一, 佐々木 靖夫, 安食 嘉晴, 塚越 拓哉, 特願2011-154207, 特開2013-020147
  • SPRセンサとSPRセンサを搭載する検査システム, 下山 勲, 松本 潔, 菅 哲朗, 安食 嘉晴, 特願2011-102188, 特開2012-233779
  • 超高波数伝達素子およびそれを用いた近接場光学顕微鏡, 唐木 幸一, 佐々木 靖夫, 塚越 拓哉, 安食 嘉晴, 下山 勲, 松本 潔, 菅 哲朗, 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 特願2011-076892, 特開2012-211963
  • 近接場光学顕微鏡、及び試料観察方法, 唐木 幸一, 西岡 公彦, 佐々木 靖夫, 塚越 拓哉, 安食 嘉晴, 下山 勲, 松本 潔, 菅 哲朗, 竹井 裕介, 野田 堅太郎, 特願2011-076697, 特開2012-027005
  • 流速センサ, 下山 勲, 松本 潔, ▲たか▼畑 智之, 菅 哲朗, 桑名 健太, 高橋 英俊, グェン ミン ジューン, 特願2011-001917, 特開2012-145356
  • 流速センサ, 下山 勲, 松本 潔, ▲たか▼畑 智之, 菅 哲朗, 桑名 健太, 高橋 英俊, グェン ミン ジューン, 特願2011-001918, 特開2012-145357
  • 多孔質膜、多孔質構造体、それらの製造方法及びセンサ, 下山 勲, 松本 潔, グェン ビン キエム, 特願2011-001919, 特開2012-144588
  • 流速センサ, 下山 勲, 松本 潔, ▲たか▼畑 智之, 菅 哲朗, 桑名 健太, 高橋 英俊, グェン ミン ジューン, 特願2011-001917, 特開2012-145356, 特許第5656191号
  • MRI装置用送受信素子, 下山 勲, 土肥 徹次, 松本 潔, 星野 一憲, 太田 亮, 特願2010-281877, 特開2011-078824
  • 触覚センサユニット, 時本 貴平, 下山 勲, 松本 潔, 中井 亮仁, 特願2010-232949, 特開2012-088084
  • 触覚センサユニット, 時本 貴平, 下山 勲, 松本 潔, 中井 亮仁, 特願2010-232949, 特開2012-088084, 特許第5647481号
  • 力センサ, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 野田 堅太郎, 特願2010-228441, 特開2011-232322
  • 血圧センサシステム, 安食 嘉晴, 下山 勲, 松本 潔, 特願2010-154322, 特開2011-115550
  • 血圧測定システム, 下山 勲, 松本 潔, 土肥 徹次, 安食 嘉晴, 特願2010-112387, 特開2011-239840
  • 血圧測定システム, 下山 勲, 松本 潔, 土肥 徹次, 安食 嘉晴, 特願2010-112387, 特開2011-239840, 特許第5561674号
  • 血圧センサシステム及びその血圧計測方法, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英冶, 野田 堅太郎, 顔 光珠, 菅 哲朗, 竹井 裕介, 橋本 温之, 安食 嘉晴, 特願2010-108746, 特開2011-234884
  • 血圧センサシステム及びその血圧計測方法, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英冶, 野田 堅太郎, 顔 光珠, 菅 哲朗, 竹井 裕介, 橋本 温之, 安食 嘉晴, 特願2010-108746, 特開2011-234884, 特許第5636731号
  • 光学素子及び撮像装置, 下山 勲, 松本 潔, ▲高▼畑 智之, 岩瀬 英治, 菅 哲朗, 特願2010-103566, 特開2011-232606
  • 光学素子及び撮像装置, 下山 勲, 松本 潔, ▲高▼畑 智之, 岩瀬 英治, 菅 哲朗, 特願2010-103566, 特開2011-232606, 特許第5445963号
  • 血圧センサ、その製造方法及び血圧センサシステム, 下山 勲, 松本 潔, 菅 哲朗, 岩瀬 英治, 光山 亜祟斗, 安食 嘉晴, 特願2009-291274, 特開2011-130844
  • 音源方向検出装置及び音源方向検出方法, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 稲葉 亮, グェン ミン ジュン, 特願2009-211683, 特開2011-059050
  • 音源方向検出装置及び音源方向検出方法, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 稲葉 亮, グェン ミン ジュン, 特願2009-211683, 特開2011-059050, 特許第5435716号
  • 触覚センサ, 下山 勲, 松本 潔, 野田 堅太郎, 特願2009-013677, 特開2010-169597
  • 触覚センサ, 下山 勲, 松本 潔, 野田 堅太郎, 特願2009-013677, 特開2010-169597, 特許第5364886号
  • 光学素子、及び赤外線センサ, 下山 勲, 松本 潔, ▲高▼畑 智之, 特願2009-010882, 特開2010-169807
  • 光学素子、及び赤外線センサ, 下山 勲, 松本 潔, ▲高▼畑 智之, 特願2009-010882, 特開2010-169807, 特許第5234462号
  • 移動体、移動体システム、及び画像管理方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-290035, 特開2010-118851
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-290036, 特開2010-119199
  • 移動体, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-290038, 特開2010-116018
  • 移動体、移動体制御システム及び移動体の制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-290037, 特開2010-117847
  • 移動体、移動体システム、及び画像管理方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 横山 大作, 檜山 敦, 高橋 桂太, 特願2008-290035, 特開2010-118851, 特許第4869319号
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 横山 大作, 檜山 敦, 高橋 桂太, 特願2008-290036, 特開2010-119199, 特許第5167077号
  • 移動体, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 横山 大作, 檜山 敦, 高橋 桂太, 特願2008-290038, 特開2010-116018, 特許第5270307号
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-234563, 特開2010-064672
  • 移動体, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-234564, 特開2010-068680
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-234560, 特開2010-068679
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-234563, 特開2010-064672, 特許第5123123号
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-234560, 特開2010-068679, 特許第4825856号
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-233591, 特開2010-068654
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-233592, 特開2010-063683
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-233594, 特開2010-068655
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-233593, 特開2010-063684
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-233594, 特開2010-068655, 特許第5119098号
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-233593, 特開2010-063684, 特許第5261091号
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-233592, 特開2010-063683, 特許第5044515号
  • 移動体、及びその制御方法, 平 哲也, 松本 潔, 中井 亮仁, 大村 吉幸, 友國 伸保, 岡部 康平, オット クリスティアン, ▲高▼畑 智之, 特願2008-233591, 特開2010-068654, 特許第5328272号
  • 撮影および編集方法、ならびに撮影および編集装置, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願2008-229214, 特開2009-005403
  • 撮影および編集方法、ならびに撮影および編集装置, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願2008-229214, 特開2009-005403, 特許第4245079号
  • 可変焦点レンズ, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, グェン ビン キェム, 奥村 亮, 特願2008-071407, 特開2009-229513
  • 可変焦点レンズ, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, グェン ビン キェム, 奥村 亮, 特願2008-071407, 特開2009-229513, 特許第4931019号
  • 3次元構造体およびその製造方法, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, グェン・ビン・キェム, 田中 悠輔, 蜂谷 修二, 中村 徹, 小林 昌市, 特願2008-064359, 特開2009-222415
  • 3次元構造体およびその製造方法, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, グェン・ビン・キェム, 田中 悠輔, 蜂谷 修二, 中村 徹, 小林 昌市, 特願2008-064359, 特開2009-222415, 特許第4508253号
  • 微小構造体の製造方法,微小構造体およびマイクロデバイス, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 尾上 弘晃, JP2008050728, WO2008-088068
  • 微小構造体の集積方法,微小構造体およびマイクロデバイス, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 尾上 弘晃, JP2008050729, WO2008-088069
  • SPRセンサチップ及びこれを用いたSPRセンサ, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 菅 哲朗, 特願2008-003695, 特開2009-168469
  • マイクロデバイス, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 武居 淳, グェン ビン キエム, 特願2008-002072, 特開2009-165302
  • 情報記録装置及び情報再生装置, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2007-335592, 特開2008-165969
  • ディスプレイ用マイクロデバイス, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, グェン ビン キエム, 特願2007-158685, 特開2008-310126
  • ディスプレイ用マイクロデバイス, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, グェン ビン キエム, 特願2007-158685, 特開2008-310126, 特許第5092563号
  • マイクロデバイス及びその製造方法, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, グェン ビン キエム, 特願2007-149686, 特開2008-197611
  • マイクロデバイス及びその製造方法, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, グェン ビン キエム, 特願2007-149686, 特開2008-197611, 特許第5030215号
  • 情報記録媒体, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2007-142773, 特開2007-305292
  • 剪断力検出装置及び物体把持システム, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 田中 悠輔, 森本 雄矢, 特願2007-124984, 特開2008-281403
  • 剪断力検出装置及び物体把持システム, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 田中 悠輔, 森本 雄矢, 特願2007-124984, 特開2008-281403, 特許第4977825号
  • 情報記録装置及び情報再生装置, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2007-044859, 特開2007-200541
  • 3次元構造体およびその製造方法, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 野田 堅太郎, 蜂谷 修二, 吉田 英博, 小林 昌市, 中村 徹, 特願2007-010290, 特開2007-218906
  • 3次元構造体の製造方法, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 野田 堅太郎, 蜂谷 修二, 吉田 英博, 小林 昌市, 中村 徹, 特願2007-010290, 特開2007-218906, 特許第4921185号
  • 画像表示装置, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 長澤 純人, 特願2006-302566, 特開2008-116878
  • 質感情報取得装置及び質感情報取得方法, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 長澤 純人, 特願2006-301805, 特開2008-117290
  • 質感情報取得装置及び質感情報取得方法, 下山 勲, 松本 潔, 岩瀬 英治, 長澤 純人, 特願2006-301805, 特開2008-117290, 特許第4932436号
  • 絞込みレンズ及び光デイスク用ピックアップ装置, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2006-138432, 特開2006-216235
  • 画像記録再生装置及びその方法, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願2006-077981, 特開2006-262491
  • 画像記録再生装置及びその方法, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願2006-077980, 特開2006-246495
  • 画像記録再生装置及びその方法, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願2006-077981, 特開2006-262491, 特許第4232787号
  • 画像記録再生装置及びその方法, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願2006-041807, 特開2006-229988
  • 画像記録再生装置及びその方法, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願2006-041806, 特開2006-197631
  • 撮影および編集方法、撮影および編集装置、ならびに撮影および編集システム, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願2006-041806, 特開2006-197631, 特許第4274190号
  • 撮像装置, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願2006-041807, 特開2006-229988, 特許第4103919号
  • 光機能素子およびその製造方法, 下山 勲, 松本 潔, ▲高▼畑 智之, 特願2006-039978, 特開2007-193286
  • ズーム機構, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 木下 英之, 武居 淳, 小野目 寛久, 特願2006-010135, 特開2006-235605
  • 流体プリズム, 小野目 寛久, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 武居 淳, 特願2006-010190, 特開2007-193024
  • 流体プリズム, 小野目 寛久, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 武居 淳, 特願2006-010173, 特開2007-193022
  • 流体プリズム, 小野目 寛久, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 武居 淳, 特願2006-010160, 特開2007-193020
  • 流体プリズム, 小野目 寛久, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 武居 淳, 特願2006-010165, 特開2007-193021
  • パンチルトズーム装置及びパンチルト装置, 小野目 寛久, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 木下 英之, 特願2006-010127, 特開2007-193015
  • 流体プリズム, 小野目 寛久, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 武居 淳, 特願2006-010190, 特開2007-193024, 特許第4674861号
  • 流体プリズム, 小野目 寛久, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 武居 淳, 特願2006-010173, 特開2007-193022, 特許第4674860号
  • 流体プリズム, 小野目 寛久, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 武居 淳, 特願2006-010160, 特開2007-193020, 特許第4614282号
  • 流体プリズム, 小野目 寛久, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 武居 淳, 特願2006-010165, 特開2007-193021, 特許第4471220号
  • ズーム機構, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 木下 英之, 武居 淳, 小野目 寛久, 特願2006-010135, 特開2006-235605, 特許第4627040号
  • パンチルトズーム装置及びパンチルト装置, 小野目 寛久, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 岩瀬 英治, 中井 亮仁, 木下 英之, 特願2006-010127, 特開2007-193015, 特許第4671234号
  • 画像記録再生装置及びその方法, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願2005-178710, 特開2005-354713
  • 撮影および編集方法、ならびに撮影および編集装置, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願2005-178710, 特開2005-354713, 特許第3915818号
  • MRI装置用送受信素子、MRI装置用送受信素子アレイ及び内視鏡, 下山 勲, 土肥 徹次, 松本 潔, 星野 一憲, 太田 亮, 特願2005-164755, 特開2006-334238
  • 触覚センサ及びその製造方法, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 野田 堅太郎, 特願2005-022180, 特開2006-208248
  • 印刷システムおよび印刷方法, 星 野 一 憲, 長 井 隆 治, 杉 山 正 和, 三 田 吉 郎, 松 本 潔, 下 山 勲, 特願2005-021132, 特開2006-205559
  • 印刷システムおよび印刷方法, 星 野 一 憲, 長 井 隆 治, 杉 山 正 和, 三 田 吉 郎, 松 本 潔, 下 山 勲, 特願2005-021132, 特開2006-205559, 特許第4657745号
  • 触覚センサ及びその製造方法, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 野田 堅太郎, 特願2005-022180, 特開2006-208248, 特許第4876240号
  • 情報記録又は再生方法, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2004-289528, 特開2005-050543
  • 情報記録媒体、情報再生方法、および情報記録方法, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2004-289532, 特開2005-044513
  • 情報記録装置, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2004-289531, 特開2005-011530
  • 情報記録装置, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2004-289529, 特開2005-011529
  • 情報記録媒体製造方法, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2004-289530, 特開2005-044512
  • 情報再生方法, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2004-289528, 特開2005-050543, 特許第3952056号
  • 情報記録装置, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2004-289529, 特開2005-011529, 特許第4038504号
  • LNG運搬船用エンジンへの燃料ガス供給システム, 松本 潔, 宮下 圭二, 豊田 健, 山本 哲也, 特願2004-244695, 特開2006-063817
  • LNG運搬船用エンジンへの燃料ガス供給システム, 松本 潔, 宮下 圭二, 豊田 健, 山本 哲也, 特願2004-244695, 特開2006-063817, 特許第4425090号
  • 匂い掲示装置、及び匂い掲示方法, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 山田 智也, 菱沼 徹哉, 特願2004-174250, 特開2005-352282
  • 表面プラズモン共鳴装置, 金井 成等, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 特願2004-158582, 特開2005-337940
  • 表面プラズモン共鳴装置, 金井 成等, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 特願2004-158581, 特開2005-337939
  • 生体計測装置、及び生体計測方法, 下山 勲, 松本 潔, 長澤 純人, 特願2004-152056, 特開2005-329141
  • 表面弾性波素子、及び表面弾性波速度変調方法, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, ▲高▼畑 智之, 特願2004-127063, 特開2005-311786
  • 撮像装置、及び撮像装置の制御方法, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 齋藤 宏, 特願2004-056238, 特開2005-252357
  • 多層媒体, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2004-052699, 特開2004-213885
  • 情報記録方法, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2004-052697, 特開2004-213883
  • 層アクセス方法、情報記録または再生方法, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2004-052698, 特開2004-213884
  • 発色構造体及び表示装置, 下山 勲, 岩瀬 英治, 松本 潔, 特願2004-015939, 特開2005-208409
  • 構造体の組立方法, 下山 勲, 松本 潔, 尾上 弘晃, 特願2004-015946, 特開2005-205562
  • 近接場光学顕微鏡, 下山 勲, 松本 潔, 菅 哲朗, 特願2004-015925, 特開2005-207935
  • カーボンナノチューブ製造方法及び製造装置, 下山 勲, 丸山 茂夫, 松本 潔, 星野 一憲, 村上 陽一, 特願2004-015962, 特開2005-206432
  • 高密度集積発光デバイスの作製方法、及び高密度集積発光デバイス, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 山田 幸一, 特願2004-015475, 特開2005-209503
  • 高密度集積発光デバイスの作製方法及び高密度集積発光デバイス並びに高密度集積発光デバイスの作製装置, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 山田 幸一, 特願2004-015475, 特開2005-209503, 特許第4224639号
  • 発色構造体及び表示装置, 下山 勲, 岩瀬 英治, 松本 潔, 特願2004-015939, 特開2005-208409, 特許第3924758号
  • カーボンナノチューブ製造方法及び製造装置, 下山 勲, 丸山 茂夫, 松本 潔, 星野 一憲, 村上 陽一, 特願2004-015962, 特開2005-206432, 特許第3837568号
  • 表面プラズモン共鳴測定装置, 金井 成等, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 特願2003-396952, 特開2005-156414
  • 表面プラズモン共鳴センサ, 金井 成等, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 特願2003-396965, 特開2005-156415
  • 表面プラズモン共鳴センサ, 金井 成等, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 特願2003-386905, 特開2005-147891
  • 表面プラズモンセンサー及び、表面プラズモン共鳴測定装置、検知チップ, 岩田 裕司, 遠山 貴博, 鎮西 恒雄, 中川 英元, 下山 勲, 松本 潔, 特願2003-362719, 特開2004-219401
  • 画像表示装置及び画像表示方法, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 中井 亮仁, 特願2003-318630, 特開2005-084530
  • 画像表示装置及び画像表示方法, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 中井 亮仁, 特願2003-318630, 特開2005-084530, 特許第3870268号
  • 足用ポインティングデバイス, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 竹井 裕介, 菱沼 徹哉, 特願2003-200341, 特開2005-043985
  • 生体内物質の濃度計測方法及び濃度計測装置, 下山 勲, 松本 潔, 長澤 純人, 特願2003-162418, 特開2004-358065
  • 生体内物質の濃度計測方法及び濃度計測装置, 下山 勲, 松本 潔, 長澤 純人, 特願2003-162418, 特開2004-358065, 特許第3787634号
  • 表面プラズモン共鳴センサー及び表面プラズモン共鳴測定装置, 岩田 裕司, 下山 勲, 松本 潔, 鎮西 恒雄, 中川 英元, 特願2003-160234, 特開2004-361256
  • 画像表示方法及び画像表示装置, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 特願2003-009793, 特開2004-219927
  • 構造体の組立方法, 下山 勲, 松本 潔, 尾上 弘晃, 特願2003-009830, 特開2004-221476
  • 構造体の組立方法, 下山 勲, 松本 潔, 尾上 弘晃, 特願2003-009830, 特開2004-221476, 特許第4478913号
  • 生体計測装置及び生体計測方法, 下山 勲, 松本 潔, 星野 一憲, 長澤 純人, 特願2002-225892, 特開2004-065372
  • 3次元構造体の組立方法, 下山 勲, 岩瀬 英治, 松本 潔, 特願2002-009689, 特開2003-211398
  • 3次元構造体の組立方法, 下山 勲, 岩瀬 英治, 松本 潔, 特願2002-009689, 特開2003-211398, 特許第3704558号
  • 耐電圧試験装置, 松本 潔, 奥脇 経三, 特願2001-246303, 特開2003-028915
  • 耐電圧試験装置, 松本 潔, 奥脇 経三, 特願2001-246303, 特開2003-028915, 特許第4092718号
  • 耐電圧試験装置, 松本 潔, 特願2001-242957, 特開2003-021661
  • 耐電圧試験装置及び試験方法, 松本 潔, 奥脇 経三, 特願2001-242958, 特開2003-021660
  • 耐電圧試験装置, 松本 潔, 特願2001-242957, 特開2003-021661, 特許第4320695号
  • 耐電圧試験装置, 松本 潔, 奥脇 経三, 特願2001-242958, 特開2003-021660, 特許第4344982号
  • 抵抗測定装置, 奥脇 経三, 松本 潔, 特願2000-124961, 特開2001-272427
  • 集積回路デバイスおよびその製造方法, 光井 彰, 林 篤, 松本 潔, 西村 啓道, 真田 恭宏, 能代 誠, 砂原 一夫, JP2000000831, WO2000-048241
  • 情報再生システム, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2000-010276, 特開2000-163795, 特許第3774608号
  • 近接場光顕微鏡, 畑村 洋太郎, 中尾 政之, 田中 秀治, 松本 潔, 特願平11-283568, 特開2001-108600
  • 光学的情報記録再生における記録学習方法およびそのための装置, 杉山 久貴, 若林 康一郎, 松本 潔, 特願平8-140135, 特開平9-320055
  • 変調された光ビームを照射して情報を記録する光記録装置, 宮本 治一, 松本 潔, 杉山 久貴, 特願平8-134688, 特開平9-050628
  • 光記録装置及び光記録方法, 宮本 治一, 松本 潔, 杉山 久貴, 特願平8-134688, 特開平9-050628, 特許第3577836号
  • 情報再生方法及び情報再生装置, 宮本 治一, 杉山 久貴, 松本 潔, 特願平8-018624, 特開平8-287609
  • 情報再生方法及び情報再生装置, 宮本 治一, 杉山 久貴, 松本 潔, 特願平8-018624, 特開平8-287609, 特許第3783264号
  • 光ディスク装置, 松本 潔, 杉山 久貴, 宮本 治一, 若林 康一郎, 神藤 英彦, 宗吉 恭彦, 特願平7-273804, 特開平9-120564
  • 光情報再生装置, 神藤 英彦, 杉山 久貴, 松本 潔, 特願平7-270002, 特開平9-115174
  • 光ディスク記録再生装置, 松本 潔, 土永 浩之, 戸田 剛, 特願平7-232868, 特開平9-081941
  • 光ディスク記録再生装置, 松本 潔, 土永 浩之, 戸田 剛, 特願平7-232868, 特開平9-081941, 特許第3510015号
  • 磁気ディスク装置, 濱口 雄彦, 赤城 協, 城石 芳博, 鈴木 幹夫, 土屋 鈴二朗, 梅本 益雄, 川邉 隆, 渡辺 克朗, 斉藤 敦, 若林 康一郎, 松本 潔, 特願平7-101921, 特開平8-297818
  • 磁気記録装置及び光磁気記録装置のヘッド位置決め方法, 赤城 協, 城石 芳博, 土屋 鈴二朗, 濱口 雄彦, 梅本 益雄, 鈴木 幹夫, 川邉 隆, 渡辺 克朗, 松本 潔, 齋藤 敦, 若林 康一郎, 浜田 洋介, 特願2001-284361, 特開2002-100136
  • 磁気記録装置および光磁気記録装置, 赤城 協, 城石 芳博, 土屋 鈴二朗, 濱口 雄彦, 梅本 益雄, 鈴木 幹夫, 若林 康一郎, 川邊 隆, 渡辺 克朗, 松本 潔, 齋藤 敦, 浜田 洋介, JP1995000474, WO1996-029700
  • 磁気記録装置および光磁気記録装置, 赤城 協, 城石 芳博, 土屋 鈴二朗, 濱口 雄彦, 梅本 益雄, 鈴木 幹夫, 川邉 隆, 渡辺 克朗, 松本 潔, 齋藤 敦, 若林 康一郎, 浜田 洋介, 特願平8-528247, 特許第3295940号
  • 光ディスク記録再生装置, 松本 潔, 杉山 久貴, 若林 康一郎, 特願平7-024947, 特開平8-221806
  • 光ディスク装置, 島野 健, 宗吉 恭彦, 松本 潔, 特願平7-024948, 特開平8-221795
  • 光ディスク記録再生装置, 松本 潔, 杉山 久貴, 若林 康一郎, 特願平7-024947, 特開平8-221806, 特許第3559603号
  • 情報再生方法およびこれを用いた光ディスク装置, 松本 潔, 杉山 久貴, 宗吉 恭彦, 特願平7-023727, 特開平8-221762
  • 透視立体像表示方法及び装置, 立野 公男, 松本 潔, 大竹 正利, 島野 健, 宮村 芳徳, 金子 豊, 特願平6-249084, 特開平8-115046
  • 光ディスク及び光ディスク装置, 斉藤 敦, 前田 武志, 峯邑 浩行, 戸田 剛, 松本 潔, 特願平6-142871, 特開平8-007291
  • 駆動・検出構造体およびその制御装置, 畑村 洋太郎, 松本 潔, 森下 広, 特願平6-066310, 特開平7-280670
  • 画表示方法および装置, 矢川 雄一, 松本 潔, 小島 啓二, 湯浦 克彦, 仙田 和人, 特願2002-226807, 特開2003-196318
  • 静止画表示方法および装置, 矢川 雄一, 松本 潔, 小島 啓二, 湯浦 克彦, 仙田 和人, 特願平5-326824, 特開平7-182366
  • 画像表示方法及び装置, 矢川 雄一, 松本 潔, 小島 啓二, 湯浦 克彦, 仙田 和人, 特願平5-326824, 特開平7-182366, 特許第3387183号
  • 画像記録再生装置, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願2002-262226, 特開2003-179861
  • 画像記録再生装置, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願平5-263354, 特開平7-123307
  • 画像表示方法及び装置, 松本 潔, 矢川 雄一, 仙田 和人, 特願平5-263354, 特開平7-123307, 特許第3528214号
  • 光ディスク装置及び光ディスクカートリッジ, 斉藤 敦, 松本 潔, 中村 滋, 特願平5-226849, 特開平7-085582
  • 光スポット位置決め装置, 齋藤 敦, 松本 潔, 特願平4-272662, 特開平6-124459
  • 光ディスク媒体とそれを用いた情報処理装置, 峯邑 浩行, 佐藤 美雄, 伏見 哲也, 坪井 信義, 安川 三郎, 杉田 辰哉, 斎藤 温, 松本 潔, 角田 義人, 特願平4-235607, 特開平6-084174
  • 画像ファイル用記憶媒体および画像ファイル装置, 大場 秋彦, 松本 潔, 特願平4-213957, 特開平6-060158
  • 光スポット位置決め方法, 齋藤 敦, 松本 潔, 前田 武志, 瀬谷 英一, 森山 茂夫, 米澤 成二, 特願平4-128628, 特開平5-325211
  • 記録再生方法およびそれを用いた光ディスク装置, 松本 潔, 前田 武志, 斎藤 温, 斉藤 敦, 峯邑 浩行, 伏見 哲也, 特願平4-063073, 特開平5-266595
  • 情報記録再生装置及び信号処理方法, 土永 浩之, 前田 武志, 松本 潔, 特願平4-063066, 特開平5-266599
  • 光ディスクを用いた電子カメラのスポット位置決め機構, 前田 武志, 松本 潔, 特願平4-063266, 特開平5-266494
  • 情報記録再生方法, 土永 浩之, 前田 武志, 松本 潔, 特願平4-063066, 特開平5-266599, 特許第2948016号
  • 焦点ずれ検出方法およびそれを用いた光情報処理装置, 松本 潔, 前田 武志, 特願平4-057669, 特開平5-258320
  • 光ヘッド装置の位置決め方法および光ヘッド装置, 齋藤 敦, 松本 潔, 前田 武志, 特願平4-010368, 特開平5-205284
  • マルチメデイアコンパクトデイスク用再生装置, 大竹 正利, 前田 武志, 松本 潔, 熊谷 幸夫, 角田 義人, 岸田 浩, 特願平3-287565, 特開平5-130565
  • 3次元記録再生装置, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願平3-263561, 特開平5-101398
  • 情報記録装置及び情報再生装置, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2000-010276, 特開2000-163795
  • 情報記録装置及び情報再生装置, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願2002-194085, 特開2003-091834
  • 情報再生装置, 杉山 久貴, 前田 武志, 松本 潔, 寺尾 元康, 岡峯 成範, 西田 哲也, 宮本 治一, 特願平3-263561, 特開平5-101398, 特許第3266627号
  • 光デイスク記録再生装置ならびに光デイスク記録再生方法, 前田 武志, 松本 潔, 特願平3-236134, 特開平5-073914
  • 情報記録再生方法および装置, 松本 潔, 角田 義人, 浜本 信男, 大竹 正利, 前田 武志, 特願平3-222696, 特開平5-062349
  • 情報記録再生方法および装置, 松本 潔, 角田 義人, 浜本 信男, 大竹 正利, 前田 武志, 特願平3-222696, 特開平5-062349, 特許第3003314号
  • 情報保護方法およびそれを用いた情報再生装置, 松本 潔, 角田 義人, 浜本 信男, 大竹 正利, 特願平3-186102, 特開平5-035934
  • 回転型記憶装置およびその制御方法, 山根 裕二, 賀来 敏光, 福田 安志, 小松 仁, 松村 信宏, 岡峯 成範, 松本 潔, 磯野 聡一, 木崎 邦彦, 特願平2-178323, 特開平4-067469, 特許第2836929号
  • 光ディスク自動焦点サーボ系起動方法ならびにこれを用いた光ディスク装置, 笠井 増雄, 前田 武志, 松本 潔, 特願昭63-047446, 特開平1-251327, 特許第2695818号

受賞

  •   2016年01月, IEEE MEMS2016 Outstanding Student Paper Award Finalist, Measurement of jumping force of a fruit fly using a mesa structured force plate
  •   2015年10月, 電気学会 電気学会センサ・マイクロマシン部門平成27年度総合研究会優秀論文発表賞, 液滴の滑りメカニズムを解明するためのMEMS力センサ
  •   2015年04月, 電気学会 電気学会優秀論文発表賞, 金回折格子によるSPRを用いた近赤外Siディテクタアレイ
  •   2014年06月, 電気学会 電気学会センサ・マイクロマシン部門平成26年度総合研究会優秀論文発表賞, サブミクロンギャップを有するMEMS可変メタマテリアルの製作と設計
  •   2013年, 日本時計学会青木賞, 分光画像計測のための可変波長マイクロ光フィルタの設計
  •   2009年, エレクトロニクス実装学会(JIEP) ベストペーパー賞, Nano-Mechanical Structure Fabrication Technology for Highly Integrated, Complex MEMS
  •   2006年, IEEE Lasers and Electro-Optics Society, LEOS-Newport/Spectra-Physics Annual Student Paper Awards First Place, Mechanical Tuning of 2D Photonic Crystal with MEMS-based Electrostatic Actuator

競争的資金

  • スリップ回避のためのMEMS2次元摩擦係数センサ, 文部科学省, 科学研究費補助金(挑戦的萌芽研究), 松本 潔
  • 電磁波波面を制御するためのMEMS二次元可変誘電体素子, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(B)), 松本 潔
  • 人の触覚受容器構造を規範としたMEMS触覚センサ, 文部科学省, 科学研究費補助金(挑戦的萌芽研究), 松本 潔, 非線形材料として、粘性液体であるシリコーンオイル中にピエゾ抵抗ヒンジ部を持つカンチレバー構造を封止し、それをパリレンで封止してPDMSに埋め込む形式の3軸力センサの研究を行った。4つの検出部を田形に配置することで、圧力と2方向の剪断力を検出できる。気液界面にカンチレバーが配置されているので機械的共振の影響を受けず、1MHz以上の広帯域での力の検出ができた。非線構造として液体を封入したコンデンサ構造を用いたフレキシブル三軸力センサの研究開発を行った。対抗配置した電極によりコンデンサを形成し、その間に誘電材料としてイオン性液体を封入する。静電容量変化により圧力を検出する。やはり4つの検出部を田形に配置することで、圧力と2方向の剪断力を検出できた。金コーティングされたマイクロピラミッドのアレイを用い、抵抗体に押圧する方式の高感度の圧力センサの研究を行った。ピラミッドへの圧力の増加によって接触面積が増加し、非線形な応答を示す。圧力を0~5kPaでかけたところ、感度が-0.6~-0.05st./kPaで変化することを確認した。微小な信号を検出するための回路として、ピエゾ抵抗を用いたカンチレバー用に、同期検波を用いた検出回路を試作した。1kHzで変調をかけて信号検出を行い、10nV/sqrt(Hz)程度の雑音レベルでの検出が可能となった。また複数のカンチレバーの出力情報を同時に処理するため、マトリクス配線を用いた信号検出回路を試作した。通常19本の配線が必要な18個のカンチレバーに対して、7本の配線での検出が可能であることを確認した。
  • 有機膜直接蒸着法を用いた液体機能デバイスの研究, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(B)), 松本 潔, 本研究では、液体上に有機膜を直接蒸着し封止する手法を用いて、液体を機能要素として持つマイクロデバイスの研究開発を行った。封止技術の確立に関して、有機膜の厚さにより物質の透過性を制御する手法、また振動場を用いて液体含浸ビーズ上に有機膜を蒸着する手法を開発した。また機能性デバイスとして、微小環境計測用機能性マイクロビーズ、イオン液体ゲートトランジスタガスセンサ、熱音響水中超音波発信デバイスの研究開発を行った。
  • 単一細胞の力刺激反応計測のためのMEMSカンチレバー, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(A)), 下山 勲, 細胞に対して力学的刺激を定量的に再現性よく加えることが可能な3軸ピエゾ抵抗型MEMSカンチレバーの研究開発を行った。カンチレバーはSOI基板上で製作され、カンチレバーの表面及び梁の側面にピエゾ抵抗層を形成することで、3方向の歪みを同時に検出可能となるよう設計した。3軸方向それぞれに対して、1 μN以下の分解能で力を独立して計測可能なデバイスを実現した。
  • 機能性膜タンパクを持つMEMSデバイス, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(A)), 下山 勲, 機能性膜タンパクであるバクテリオロドプシンとMEMSを融合することにより、光センサアレイを実現した。実現した光センサは、低温プロセスによりプラスチックフィルム上に製作でき、低コストで柔軟であるという特徴を持つ。本研究を実現する過程で、膜タンパクの選択的パターニング技術の確立、膜タンパクと低温有機材料プロセスの両立、印刷技術によるパターニング技術の確立を実現した。平面の状態だけでなく曲げた状態で光画像パターンを検出でき、柔軟な光センサアレイとしての機能を持つことを示した。
  • 近赤外MEMS SPRセンサ, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(B)), 松本 潔, 平成18年度は、シリコンを材料としたMEMS構造と近赤外光を用いたSPRセンサの基本特性評価、SPR角検出方法の検討を行なった。■シリコン構造と近赤外光を用いたSPRの基本特性評価a)可視光とBK7プリズム、b)近赤外光とBK7プリズム、C)近赤外光とシリコンプリズム、の3つの組み合わせでのSPR曲線を数値計算によって求めた。可視光の波長は630nm、近赤外光は1550nmとした。分解能を評価するための指標として、水を試料としたときのSPRディップの半値幅wを,水とエタノールのSPR角の差で割った値を用いた。その結果、a)では1.60であった値が、b)、c)ではそれぞれ0.072、0.083となり、近赤外光を用いることで高分解能のSPRセンサが実現できることが確認できた。さらに実際にBK7プリズムとシリコンプリズムを用い、水とエタノールを試料として近赤外SPR計測を行った。試料の誘電率変化によって理論通りにSPR角が変化することを確認した。■角度スキャン機構部および検出方式の検討入射角走査方法として、ローレンツ力で駆動するフラップを検討した。さらにフラップと小型シリコンプリズムセンサを一体化した小型SPRセンサを実現した。また表面ナノ構造によって励起される1次SPR角がナノ構造のピッチによって制御可能であることを見出し、センサとしての利用方法を提案した。実際にシリコンプリズムSPRセンサの厚さ280μmの金膜表面に、厚さ100nm、ピッチ430nmのグレーティング構造を形成することで、1次SPRを利用したSPRセンサを実現した。
  • ナノ・マイクロ構造物を内包した機能性リポソームの調製, 文部科学省, 科学研究費補助金(萌芽研究), 市川 保正, 本研究の目的は,外場を用いてマイクロ粒子を操作し,リボソームの機能発現を制御する事にある.このために,前年度までの基礎実験の結果を基に実験装置の設計製作を行い,実際にPHなどを制御する実験系の構築を行った.これによって,試験溶液として生体由来物質(脂質等),ナノ粒子,イオン溶液などを含むものを用い,濃縮・濃度調整を行うことが可能になった.また,構築した顕微鏡システムを用いて,リボソームの破膜がUV照射により可能なことを実験的に確かめ,マイクロチャンバー内で破膜の実験を行った.この結果,実際に内包したインクの漏洩を確認し,破膜制御が可能であることを明らかにした.さらに,ジャイアントリポソームの調製技術を確立し,小胞リポソーム,ナノ粒子,蛍光粒子,インクなどを内包させ置換によって外部溶液と異なるように制御する方法も確立した.これらの成果を基にして,複数のリポソームに異なる溶液を内包させ,これをマイクロチャネル内のチャンバーにおいて会合させ破膜・混合させる実験を行っており成果の一部を本年10月のμTASの国際会議(in Paris, FRANCE on 7-11 October 2007.)において公表する予定である.(投稿中)以上の本年度の研究によって機能性リボソームの調整に対する研究の基礎的な部分はほぼ予定通り終了した.今後の課題としては,時間的制約によって十分に進展しなかった,マイクロ構造物の内包と表面にナノ粒子を吸着させる実験が残っているが,試験設備を利用してさらに発展させる予定である.
  • MEMS微細構造による単層カーボンナノチューブ成長のリアルタイム計測, 文部科学省, 科学研究費補助金(萌芽研究), 星野 一憲, カーボンナノチューブの成長方向・量を制御する要因として,電界の方向のほかに,ガスの流れ方向および流速が考えられる。望ましい位置にカーボンナノチューブを成長させる方法の一つとして,MEMS微細構造を利用した流れ制御が有効であると考えられる。シリコン基板上に微細流路をつくり,流路幅の変化によって流速を制御し,カーボンナノチューブ成長量と流速の関係を調べた。その結果,流速が早いほど,カーボンナノチューブの成長は活発になるが,流路壁面に成長するナノチューブの成長方向とガス流れ方向の間には顕著な相関がないことが明らかになった。ここでは,通常の流体と希薄気体と境界にあたる流れ条件を与える反応管内で実験を行った。ここで,反応ガスの圧力を下げ,希薄気体としての仮定が成立する条件で反応を行なえば,壁面におけるすべりが生じるため,ガス方向とナノチューブ成長方向との間の関係が観察されるようになる可能性がある。また,カーボンナノチューブ成長をリアルタイムで計測するための微小カンチレバーを製作し,反応炉をピエゾアクチュエータによって外部から加振することによって内部のカンチレバーの振動の周波数応答を計測することができた。これにより,カンチレバー自体に静電アクチュエータなどの駆動方法を集積することなく計測環境が得られることがわかった。これにより,製作可能なカンチレバー特性の自由度が大幅に増し,様々なカーボンナノチューブの成長条件に適したカンチレバーを製作することができる。
  • MEMS微細構造を用いた可変構造色, 文部科学省, 科学研究費補助金(萌芽研究), 下山 勲, 本研究では、構造色の発色メカニズムを解明し、構造色の発色構造を再構築する。さらにMEMS技術を用いて、波長可変の発色機構を構築することを目的とする。平成16年度には、構造色の発色メカニズムの解明、構造色発色の評価手法の開発、および基本的な微細構造を用いた構造色の再構成を行なった。これを踏まえて平成17年度は、構造の制御により発色波長を変えられる可変構造色MEMSデバイスの試作を行った。・発色波長可変方法の検討波長オーダーの微細構造により構造色の再構成を実現できるが、構造の変形によって発色波長を変化させる方法では10%以上の変形が必要なため非常に困難である。一方、多層構造で隣り合う層の材質を変えることによって、バイステイブルな可変発色が可能である。これはディスプレイなどへの応用にも有用な方法である。表面の微細発色構造部にPDMSを接触させることで発色波長をバイステイブルに変化させる方法を実現し、評価を行った.・可変構造色MEMSデバイスの試作上下方向に可動するMEMSアクチュエータと組み合わせることにより、上部に配置したPDMS層との接触・非接触制御する可変構造色MEMSデバイスを試作した。1ドットを1mm角とした可変発色体をドッドマトリックス状に配置し、市松模様などいくつかのパターンの表示を実現した。これにより、構造色がMEMS技術を用いることで、高輝度・低消費電力な反射型ディスプレイへの応用展開が可能であることを示した。
  • ナノパーツを用いた3次元構造の順序付き自己組み立て, 文部科学省, 科学研究費補助金(萌芽研究), 松本 潔, 本研究の目的は、表面修飾した微細なパーツを用い、それを順序だてて組み立てて、任意の3次元構造体を作成する手法を探索することである。3次元構造の材料となる微小パーツとしては、シリコン基板を半導体プロセスにより加工し、直径10um程度の円柱形状を作成した。円柱の片面に金膜を蒸着し、さらにその上に自己組織化単分子膜(SAM)を形成した。これらの微小パーツを分散媒の中で撹拌し、ランダムな衝突を起こさせることにより、自己組み立てを行った。組み立て順序については、疎水性相互作用と静電反発力のバランスを、分散媒のpHを変えることにより、制御した。具体的には、pH=6.5程度では、単分子膜間には疎水性相互作用が働き結合が生じるが、単分子膜の形成されていないシリコン表面は帯電するため反発しあう。pH=2.0程度に下げると、シリコン表面の電荷が消失し、シリコン表面同士も結合するようになる。この手法を用いて、順序を付けなければ組立たない、鎖状の微細構造の組み立てに成功した。微小パーツ間の結合力を、定量的に評価するための計測システムを開発した。結合力の検出には、厚さ300nm、長さ350ミクロンの力計測カンチレバーを開発した。これは、サブnNの分解能を持ち、液体中で計測が可能である。このシステムを用いて、微小パーツの結合力を評価した結果、微小パーツ間の結合力が100pN/um^2程度であること、またpHを変えることで結合力が変化していることを確認した。
  • 自己組織化単分子膜の微細パターニングを用いたナノ光学素子, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(C)), 福田 勝己, 本研究は,自己組織化単分子膜上にナノレベルのパターニングを行い,それがナノ光学素子作成に有効であることを示すものである.近年,ナノメートルオーダの分子レベルにおいて,自己組織化プロセスが注目されている.ナノオーダの構造を有する自己組織化単分子膜(SAMs : self assembled monolayer,以下SAM膜と称す)は,界面活性な有機物の極性部会と基板表面との相互作用によって分子が表面に吸着し,しかも非極性部分に働く分子間の相互作用によって分子同士が集合して整然と並ぶことで形成される膜である.このSAM膜の作製は,成膜しようとする表面を溶液に浸すことで高密度で充填した単分子膜が形成される.本研究では,SAM膜上にマイクロコンタクトプリンティング法によってナノオーダのパターニングを行い,親水・疎水性の区別が明確な極微細なパターンを創生すること,すなわち,数ミクロンから数百ナノのサイズの発光素子を製作し,高精細な未来の画像表示装置の発光素子としての有効性を示すことを目的とした.本研究は,安定した膜構造を有する自己組織化単分子膜に,微細なパターニング技術を融合する形で遂行したものであり,従来にはないような微細な,しかも安定したナノパターンが得られ,自己組織化単分子膜の表面の濡れ特性を利用することによって,超高解像度のディスプレーが実現できる.本研究では,精細な凹凸を持つシリコンゴムなどの材料にアルカンチオールなどを塗布し,基板表面の押し付けることによって,ナノオーダのパターニング精度を持つ単分子のパターンを形成した.コンタクトプリンティングと呼ばれるこの手法は,容易に大量生産等の産業技術への応用が可能である点も重要である.実験として親水部・疎水部を予めパターニングしておくことにより,親水部のみに選択的に導電性高分子膜を形成することができる.この手法をコンタクトプリンティングと組み合わせることで,ナノオーダの親水パターンに発光素子の有機材料を選択的に吸着させることが可能であり,直接SAM膜によって発光色素や光変調素子などをパターニングすることも可能である.すなわち,光の波長より小さい精度で光学素子を製作することができた.
  • マイクロレンズアレイと微小光線走査機構を用いた薄型立体表示デバイス, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(A)), 下山 勲, 本研究では,画像表示装置から出力される光情報を時系列のデータとして扱い,マイクロミラーを動的に制御することでその反射光を空間上に走査する.これにより,観察者の見る画像の解像度を落とすことなく空間分解能を上げることが可能となる.DMDのような反射型のミラーアレイを用いた立体視ディスプレイの研究は既に行なわれているが,反射型の場合光源とミラーアレイを向かい合わせに配置する必要があり,複雑な光学系及び一定以上の光路を確保する観点からシステムが大規模になる傾向がある.一方本研究では,画素と同サイズのマイクロミラーの両面を用いて反射させることで,ミラーアレイの直下に配置した光源からの光を透過させる構造となっている.これによりシステム全体をシンプルに,かつ薄型にすることが可能である.まず,外部磁場,及びローレンツ力により駆動されるマイクロミラーの設計を行ない,ミラー面のサイズが400μmx500μm,厚さが20μmのマイクロミラーを試作した.次に,一対の固定・可動ミラーのペアを用いてレーザ光線を空間上に走査し,多眼化が可能であることを示した.その後,マトリックス状に配置されたマイクロミラーアレイとLEDマトリックス,マイクロレンズアレイ等を組み上げることで,透過型立体視ディスプレイのプロトタイプを試作した.ディスプレイへの見込み角を変化させながら出射される光強度を測定することで,試作したプロトタイプが立体視ディスプレイとして適切な光強度分布を示していることを確認した.さらに,隣り合うミラー同士を逆位相で振動させるなど幾つかの駆動方法を実験し,特徴ある光強度分布が得られることも明らかにした.上記手法では表示画像の解像度を落とすことなく多眼化が実現できることから,このマイクロミラーアレイを大規模に集積することで,高解像度・高分解能な立体視ディスプレイが実現できることが示された.
  • 高分子材料の微細加工による多機能集積マイクロシステム, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(A)), 下山 勲, 本研究では,高分子材料,有機材料,たんぱく質など,従来のシリコンMEMS技術では用いられてこなかった新しい材料からなる微小知能機械の研究を行なった.有機発光材料に関しては,まず,MEMS構造によって圧力を加え,発光部の幅を数μm幅にパターニングする技術の研究を行なった.従来,シャドウマスクなどの方法で百μm程度でのパターニングが限界であったが,より微細な加工が可能となった.さらに,発光材料を基板からリリースされたMEMS構造の上にパターニングする方法についての研究を行なった.これによって,静電アクチュエータのような可動部品の上に発光部を作ることが可能となった.さらに,有機トランジスタによる電流増幅の方法の研究を行なった.従来のような平面型でなく,微小な立体構造を用いた縦型のトランジスタの試作に成功した.この方法を用いることで,ディスプレイや撮像装置などの動作効率を向上させることが可能と考えられる.さらに本年度は,高分子材料,有機材料半導体の研究に加え,大面積,低予算での製作を実現できる可能性のある材料として,感光性のたんぱく質である,バクテリオロドプシンを利用したデバイスの研究を行なった.静電気によるたんぱく質の電着と配向の制御に加え,基板表面の親水性・疎水性の制御によって,5μm程度の小さい領域にまでたんぱく質をパターニングできることがわかった.このたんぱく質を4x4の領域にパターニングすることにより撮像センサを作ることが出来た.上記の研究に加えて,皮膚のように柔軟で,様々な力の成分を検出することのできる触覚センサを試作した.この触覚センサは,センサ部分にはシリコン微小構造からなる歪センサを利用しているが,全体を柔軟なフィルム内に埋め込むことができる.このようなシリコンMEMSデバイスも,微小なチップ構造内に集積することで,柔軟な有機材料システムとの統合が可能である.
  • ナノ流動センサーを用いた微小流路内流動の制御, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(C)), 市川 保正, 研究スケジュールとしては,2年間での研究を想定し,ナノ流動センサーを組み込んだ微小流路の試作,較正角流路試作とセンサーチップの性能評価および実際の流動制御実験を行い,マイクロ流路における流動特性を計測する.また,実験から得られた知見によって,マイクロ流路内の流動構造を明らかにするとともにナノ流動センサーによる制御システムをもつバイオシーケンサーチップに関する基礎的な知見を取得する.この研究計画に従って,14年度は深さ80μm,幅100μmの微小流路内にマイクロベンチュリ構造を設計し,圧力差を計測した.その結果,気泡を利用する圧力計やポンプでは気体の液相への溶解が無視できないこと,分岐流路の幅が本流路に較べてあまり小さくできないのでそちらへの流れの分岐が生ずることなど実際に流動制御を行うための基礎的な知見が得られた.15年度は14年度の成果をふまえて,マイクロ流動ポンプの設計製作,ナノ流動センサーの製作などを行った.実際の成果としては,流動制御用の電気浸透流ポンプを組み込んだマイクロミキサーを製作した.また,カーボンナノチューブ流動センサに関しても,シリコン微細構造の先端に,単層カーボンナノチューブを成長させる実験を行い,最大で10ミクロン程度の間隔を持つシリコン構造にナノチューブを架橋することに成功した.このセンサーによりマイクロ流路内のサブミクロン領域の流速分布が計測が可能に成ると期待される.
  • マイクロケモメカトロニクスのための3次元微細構造の創成, 文部科学省, 科学研究費補助金(特定領域研究(B), 特定領域研究), 中尾 政之, 研究の目的はマイクロケモメカトロニクスのために半導体加工技術や機械加工技術を用いて、3次元微細構造を創成する技術を確立することである。これまで化学分析機器のマイクロ化のために用いられてきた表面形状創成用のMEMS技術や機能表面創成用の物理的成膜技術や化学的修飾技術に加え、電解研磨・放電加工・ビーム堆積・組立接合・加圧転写・射出成形などの機械的な微細加工技術を用いて、3次元微細構造を備えたマイクロ化学分析機器を創成する。本研究では微細な構造として針状・管状・溝状構造に分類し以下のような項目に分けて研究を行った。・針状構造物の薇細加工システムの開発ナノメートルスケールの針状構造の製作技術として、走査型電子顕微鏡のビームを用いてカーボンを堆積させる、電子ビーム堆積(Electron Beam Deposition : EBD)法を研究してきた。またこの針状構造を用いてDNAのハンドリングツールや散乱型近接場光学顕微鏡のプローブへの応用を行った。またさらに、微細センサなどへの応用を念頭においてEBDプロープの導電性の制御を試みた。非晶質であるEBDに結晶性のグラファイト構造を持たせるために、電子顕微鏡内に炭素源供給装置と触媒と触媒活性化用の加熱装置とを配置した結果、結晶性と考えられるカーボン堆積物を生成できた。・管状構造物の微細加工システムの開発集束イオンビームを用いて微細ガラス管を加工し管状構造を作製する研究を進めてきた。応用例として、内部にピコリットルオーダの一定体の親水部を設けることによって定量分注を行うマイクロピペット、ピエゾ素子で上下駆動するマイクロピペットと親水性を制御した基板との組み合わせによって基板上に液滴を生成するシステムを開発した。またこれを植物細胞の形質転換用遺伝子を封入するビーズの生成に応用し、遺伝子と混合したアルギン酸ナトリウム水溶液をガラス基板上に滴下、これに塩化カルシウム水溶液を加えてゲル化し、遺伝子を内包したビーズを作製した。・溝状構造の精密転写プロセスの開発マイクロ分析機器の量産化を念頭に、現在、ウェットあるいはドライエッチングなど主に化学的手法で製作されているガラスチャネルチップを、より高速かつ安価に製造するための機械的加工法の開発を行ってきた。砥粒を含んだ水を高圧で噴出してガラスを除去加工するウォータージェット加工、ガラス粉末をインジェクタで塗布し溝を形成した後、焼結してガラスチップを作製する加工法を試みた。さらに、ガラスを腐食させてしまう物質や、過大な熱・圧力を発生させる反応を扱うために、抜熱性と耐衝撃性に優れた金属製の化学チップの開発を行った。切削法による溝の形成とYAGレーザ溶接法による蓋の接合技術を組み合わせて、溝幅が400μm程度の多層のステンレス製チップを作製できることを示した。
  • 多チャンネルマイクロ電極を用いた感覚機能代替システムの設計手法, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(B)), 松本 潔, 本研究の目的は,感覚細胞あるいは伝達経路に障害を持つ患者のための感覚機能代替システムにおいて,その設計手法を確立することである.本研究の成果の概要を以下に示す.(1)脳幹の蝸牛神経核を直接電気刺激して聴覚を再生させる聴性人工脳幹インプラント(ABI)の基礎研究のために,大脳皮質・蝸牛神経核でそれぞれ計測用・刺激用に用いる微小電極アレイを開発し,さらに,それらでABIの動物実験モデルを構築した.(2)同モデルで動物実験を実施し,ABIの有用性を直接的に裏づけた.蝸牛神経核を刺激したときの聴皮質の時空間的な反応パターンは,音刺激したときそれに類似しており,同パターンの変化から適切な場所を適切な電流強度で刺激すれば,音の高さと強さを知覚させられる可能性が高いことを実験で示した.(3)電極間の神経を選択的に刺激できる多点ゲート刺激法を提案し,それを動物実験で検証した.多点ゲート刺激法は,陰極の刺激で電極周辺の神経を幅広く発火させ,不必要な活動電位の伝播を陽極で抑制することで,電極間の神経でも選択的に刺激できる.理論計算と動物実験で同方法を詳しく考察したところ,数100μmの分解能で,電極間の神経を選択的に刺激できることがわかった.(4)音刺激で誘発される聴皮質の反応を考察し,聴皮質は複数の領野に分かれており,それらの機能構造は領野ごとに異なることを明らかにした.(5)シミュレーションと実験データの独立成分解析を用いて,誘発電位の時空間的特徴を考察した.特に聴性誘発中潜時反応に着目し,同反応に見られる波形の多様性は,発火活動に起因する成分・シナプス活動に起因する成分・皮質下に起因する成分の大小関係で説明できることを示した.
  • ナノワイヤーフレームを用いたメゾスコピック3次元機能素子, 文部科学省, 科学研究費補助金(萌芽的研究, 萌芽研究), 中尾 政之, 本研究の目的は、電子ビーム堆積(EBD)法で作製したナノワイヤを用いてメゾスコピックサイズの3次元構造体を作製する技術を確立することである。またさらにその構造体を用いた様々な機能素子を製作し、その可能性を探索することである。対象とする機能素子は、3次元LSI、量子細線を用いた量子効果デバイス、微小コイルを応用した磁気デバイスなどナノワイヤを電子配線的に用いる素子と、光の波長と同程度以下のフォトニック構造体などナノワイヤを光学物質として用いる素子である。電子配線的な応用については、平成13年度の研究結果によって、EBDの体積抵抗率は約100Ωmと高いことが分かったことから、平成14年度ではこれを改質する研究を行った。Ni系触媒表面でEBDの生成を行い生成に問題がないことは確認できたものの結晶構造に顕著な差異は見られなかった。光学的な素子については、AFM用のカンチレバーに集束イオンビームを用いて光の波長程度の開口を形成し、開口部にEBD法を用いて近接場光学顕微鏡の散乱プローブを作製した。φ10nm、長さ1μmのアモルファスカーボンの針をもつ散乱プローブを製作し、φ20nmのビーズとφ200nmのビーズが混在した試料の観察を行った結果、従来の散乱プローブでは存られなかった、φ200nmのビーズの近傍にあるφ20nmのビーズの光学像を得ることができ、製作した散乱プローブが高アスペクト比物体の高分解能観察に有用であることを示した。
  • 微細構造をプラスチック・ガラスに型転写する技術の開発とそのプロセス中の現象の解明, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(B)), 松本 潔, 本研究では,(a)ホログラム回折格子,(b)免疫検査チップ,(c)使い捨てコンタクトレンズ,などを試作対象に設定して,新たな転写プロセスの原理,被転写材料や型材料の材質,型材料の微細加工方法,プロセス条件の最適化,などを総合的に検討した。平成13年度ではホログラム回折格子用の射出成形金型として温度センサと熱流束センサにより内部のプラスチックの状態をモニタつつ圧電素子により部分的な加圧ができる装置を開発した。この装置を用いてピッチ1μm、深さ150nmの回折格子をプラスチックに射出成形できることを確認した。また、犠牲層マスクを用いて硬質材料に転写を行うプロセスを開発した。ガラスの上にプラスチックを塗布しこれに型から形状を転写する。次に高速原子線により異方性エッチングを行う。プラスチックとガラスのエッチングレートを制御することで、元の型をそのまま、あるいは深さ方向に縮小/拡大した形状をガラスに転写できることを確認した。平成14年度は,射出成型のキャビティ内の状態をリアルタイムに把握し,それに応じて能動的,局所的にキャビティ内の条件を精密に制御できる小形知能化金型を開発した。これは98x98x117mmの大きさの金型に,キャビティ内の局所的な熱流束を測る熱流束センサを3個,キャビティ内を局所的に加熱する小形ヒータを2個,そしてそれぞれキャビティ内圧と容積を測る力センサおよび変位センサを埋め込んだものであり,局所熱流束制御により30x15x6mm,厚さ1mmの箱型成型品の平面度を20μmから3μmへと向上させることができることなどを確認した。また,より狭い領域をピンポイントに加熱・冷却するためにφ1.0mmの小形ヒータやφ1.0mmの二重パイプ水路冷却器を試作・検討した。さらに,これらの小形温調器を用い,より精密な熱流束制御を行うための1dl金型の開発に着手した。金型体積を1dl程度以下とさらに小形にし,金型材料も銅合金を用いることで温度の制御性が向上する。予備実験の結果,φ1.0mmの二重パイプ水路冷却器によってキャビティ表面温度を局所的に1℃下げることができることを確認した。
  • バイオ・メカニカル・ハンドリングのための10nmオーダの3次元微細構造の創成, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(A)), 中尾 政之, 本研究では、微小な生体物質を固定・操作・分析するためのもつツールを10nmのオーダまで微細化することを目的として3次元微細構造の加工技術の開発を行った。微細な3次元構造を溝状・針状・管状・粒状構造に分類し、以下のような項目で研究を行った。・針状構造物の微細加工技術の開発走査型電子顕微鏡のビームを用いてカーボンを堆積させる、電子ビーム堆積(Electron Beam Deposition)法の開発を行った。EBD法によってガラス針の先端にφ20nmのカギ状プローブを形成し、これを用いて撥水基板上に伸張したλ-DNA一分子の一部分を回収できることを示した。またEBD法によってナノメートルサイズの針を原子間力顕微鏡のカンチレバー先端に形成し、これを近接場光学顕微鏡の散乱プローブへ応用した。φ10nm、長さ1μmのアモルファスカーボンの針をもつ散乱プローブを製作し、φ20nmのビーズとφ200nmのビーズが混在した試料の観察を行った結果、従来の散乱プローブでは得られなかった、φ200nmのビーズの近傍にあるφ20nmのビーズの光学像を得ることができ、製作した散乱プローブが高アスペクト比物体の高分解能観察に有用であることを示した。・管状および粒状構造物の微細加工技術の開発集束イオンビームを用いて微細ガラス管を加工し内径500nm程度の管状構造を作製する研究を行った。またこの構造をさらに利用して粒状の微細構造を生成するシステムの開発を行った。ピエゾ素子を用いて上記管状構造(微細ピペット)を上下に駆動し、ガラス基板上にφ1μm程度の液滴を形成しゲル化するシステムを開発した。またこの粒に遺伝子を封入して、植物細胞の形質転換用のカプセルに応用できることを示した。
  • 聴覚回復のための脳幹インプラント電極の開発, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(B)), 畑村 洋太郎, 中尾 政之, 本研究の目的は、聴覚神経系に障害をもつ患者のための感覚機能代替システムにおいて,その設計手法を確立することである.本研究の成果は,(1)ラットの聴皮質で聴覚性信号を計測する微小多点表面電極と、脳幹を電気刺激する微小剣山電極を開発し、それらを用いた脳幹インプラントシステムの動物モデルを構築したこと,(2)聴皮質上からの多点信号計測から聴皮質の機能構造を明らかにしたうえで,脳幹・蝸牛神経核の電気刺激が音の高さ・強さの知覚を誘発できる可能性が高いことを示したこと,(3)電極間の所望の神経を選択的に刺激できる多点ゲート刺激法を開発したことである.表面電極は、皮質上から高空間分解能に聴覚性信号を多点計測する。同電極では、曲率があり脈動している脳表面に電極基板が密着できるように、柔らかいポリイミド・フィルムを基板に用いた。基板上には2mm角の計測部位に80μm角の計測点を70個配した。微小剣山電極は、1.3mm角の計測部位に400μm間隔で格子状に、16個の微小タングステン電極を有する。純音で誘発された聴皮質反応を表面電極で多点計測し,聴皮質の機能構造を考察した.同反応は,異なる音の周波数・音圧に対し,特徴的な時空間的活動パターンを示した.さらに,剣山電極を用いて,脳幹・蝸牛神経核を電気刺激したところ,音刺激で誘発された反応と同じ特徴を示し,蝸牛神経核の適当な部位を適当な電流強度で刺激すれば,音の高さと強さの情報を適切に知覚させられる可能性を示した.多点ゲート刺激法が,電極形状によらず所望の神経を選択的に刺激できることを,シミュレーションと動物実験で示した.多点ゲート刺激法では,陰極の刺激で電極周辺の神経を幅広く発火させ,不必要な活動電位の伝播を陽極の刺激で抑制する.
  • ナノメータサイズのチャネルにおける流体挙動の解明, 文部科学省, 科学研究費補助金(萌芽的研究), 松本 潔, 平成13年度は、ハードウエアの製作プロセスを確立し、さらにナノチャネルを備えた実験装置を試作して、実際に流体を流して理論解析のデータと比較を行った。実験ハードウエアは、ガラスの基板上に作成した。基板上には、ナノチャネル部、導入チャネル部、圧力検出部が配置される。ナノチャネル部は、電子線描画装置を用いて幅数百nmのパタンを描き、高速原子線によるエッチングで深さ方向の加工を行った。導入チャネル部、圧力検出部の加工には、数μmの微細シリカ粒子をぶつけて加工を行うパウダービームを用いた。加工した基板とカバーガラスの接合は、表面を親水性処理をした後、フッ酸による接合を行った。実験装置では、基板外部に設置したシリンジポンプを用いてチャネルに流体を流した。圧力の測定は、基板上に液だめを設け、液だめのカバーが圧力により変形するときの歪みを検出した。圧力降下を防ぐため、この圧力検出部は基板上のナノチャネルの直前に設けてある。幅470nm、深さ170nm、長さ5μmのナノチャネルを500本平行に有する流路を作成し、さらに流量を10、20、30μl/hと変化させて特性評価を行った。30μl/hの流量時、1750kPaの圧力損失であった。理論計算による圧力損失はで515kPaであり、ほぼ3倍の値となった。本研究で、ナノチャネルの作成プロセスの確立を行うことが出来た。チャネル内の流動特性は、圧力損失のこの領域でのオーダーは判ったが、まだ理論値とは3倍程度の開きがある。これは、チャネルが小さくなったことによる壁面の濡れ性の影響、水のクラスターの影響によるものと考えられる。実験装置としては、ポンプ、センサなどが、微小流量を扱うのには最適なものとは言えない。特に流量の計測は難しく、微小流量を精密に計測するセンサの開発が必須である。
  • 染色体のマイクロサージェリーの研究, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(B)), 鷲津 正夫, 本研究は,基板の微細構造を創成するマイクロマシーニングの手法と工具の物理的マニピュレーションの手法を組み合わせることにより,染色体を展延してその構造や特定の遺伝子のDNA上での位置を解析し,さらに任意の位置での遺伝子の切除・改変を行う技術(染色体のマイクロサージェリー)を開発することを目的とした。その結果,次の成果が得られた。1)動植物などの高等生物の細胞分裂期に現れるX字型の染色体からDNAを巻きほどく手法につき、対象に大きな流体力学的なストレスを加えずに,タンパク分解酵素やその阻害剤をタイミングよく添加するためのマイクロデバイスを開発し,適度に弛緩した染色体からレーザーマニピュレーションによりDNAを引き出すことに成功した。また,染色体を局所的に巻き戻すためには,レーザーによる局所加熱が有効であることを示した。2)酵母の細胞骨格を分子リンカーで架橋することにより籠状構造とし,1細胞の持つ染色体をひとまとまりとして閉じ込め、FISH(Fluorescent in situ Hybridization)を行う手法を開発した。また,固体表面上に固定した籠上構造を部分的に破壊し,電気浸透流によりDNAを引き出す手法を開発した。3)ガラス毛細管やAFMチップの先端にEBD(Electron Beam Deposition)により数10nmの太さを持つプローブを成長させる手法を開発し,これを用いて,撥水処理した基板上に固定されたDNAのねらいの部分を切り取り回収できることを示した。これらにより,従来の試験管ベースの生化学と異なる,分子上の位置を意識した生化学,すなわちバイオナノテクノロジーの基盤技術が確立された。
  • 3次元構造を分解能サブμmで複製するマイクロ・メカニカル・リプロダクションの試み, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(A)), 中尾 政之, 本研究は、サブμmの分解能を有し、3次元構造を複製できる新しい微細転写技術、すなわち「マイクロ・メカニカル・リプロダクション」を試みる。この転写技術は主に次の3つのプロセスからなる:(1)従来のリソグラフィ技術や金型作成技術を応用した「微細な原盤の作成」、(2)従来の樹脂によるレプリカ転写技術を応用した「原盤からマスクへの複製」、(3)新しい加工原理を用いる「マスクから被加工物への複製」、である。具体的に、(a)近接場光リソグラフィ、(b)犠牲マスクエッチング、(c)射出成形と圧縮成形とを応用するレプリカ作成技術、を試みる。(a)近接場光リソグラフィは、(1)電子線リソグラフィと高速電子線エッチングによって、微細な凹凸を有する石英ガラス製の原盤を作成し、(2)この原盤にアセチルセルロースを載せて、その凹凸を有するマスクとしてレプリカをとり、(3)このマスクをプリズムに貼り付けて、マスクの凸部からもれでる近接場光によって被加工物上のレジスト(感光性樹脂)を露光させた。これを実際に試みた結果、露光光の波長の1/8にあたる幅0.05μmのラインを露光できたが、偏光および入射方向によってその露光条件が異なることがわかった。また、(b)犠牲マスクエッチングは、(1)微細平削り盤によって、三角波状の凹凸を有するニッケルメッキ膜付きアルミニウム製の原盤を作成し、(2)シリコンゴムをスピンナで塗布した被加工物を、この原盤に軽く押し付けて、シリコンゴム上に凹凸を転写させ、(3)このシリコンゴムを犠牲マスクとして高速原子線エッチングを施し、被加工物のガラス上に三角溝を有する回折格子を複製した。これを実際に試みた結果、ピッチ1μm、深さ1μmの三角溝が切削・転写できた。さらに(c)射出成形と圧縮成形とを応用するレプリカ作成技術では、(1)(b)と同様に回折格子の金型を作成し、(3)電動押出形射出成型機で射出成形だけでなく、金型に取り付けたピエゾ素子でキャビティ内を圧縮成形して、ピッチ1μm、深さ1μmの転写分解能を達成した。
  • CVD膜とAFMを用いて潤滑液の存在状態を観察する試み, 文部科学省, 科学研究費補助金(萌芽的研究), 中尾 政之, 本研究の目的は、CVD膜とAFMを用いてハードディスク上の潤滑液の存在状態を観察する方法を確立することである。さらに潤滑液が耐磨耗性に及ぼすメカニズムを解明するとともに、耐摩耗性の優れた新しい潤滑液を提案することを目指す。具体的な観察方法として、(1)ハードディスクの表面にカーボン系のCVD膜を厚み2nm程度で成膜して潤滑液を固定し、その膜の上からAFMで観察する方法、(2)フッ素を混ぜたCVD膜をAFM針の表面に薄く成膜して、そのCVD膜と潤滑液との親和力の違いから(この場合は反発する)、AMFで潤滑液の位置を観察する方法、を試みた。前者の方法では、潤滑膜を加熱すると、ボンド(カーボン膜と強固に結合していてフレオンに浸しても溶出しない潤滑液分子)は単層膜が一面に広がるだけでなく、直径30nm程度の島に分散して存在し、その島は分子量が大きくなるほど顕著に大きくなること、潤滑液で浸けてもさらに付着しない、全面が潤滑剤で覆われた状態だと、摺動による耐摩耗性が優れること、モバイル(ボンドではない可動分子)は蒸発するためか観察できないこと、などがわかった。また、後者の方法では、前者と同様な島が観察されるが、モバイルとボンドとの差異が観察できないこと、などがわかった。
  • 集動マイクロ工作機械によるデスクトップ・マイクロマシン生産システムの構築, 文部科学省, 科学研究費補助金(基盤研究(B)), 畑村 洋太郎, 本研究の目的は、微小部品を作るための工作機械をマイクロ化し、環境・エネルギの負荷が小さく、ボータビリティ性に優れた、デスクトップのマイクロマシン生産システムを構築することである。システムの設計指針として(a)工作機械を被工作物の回りに集中配置して、被加工物を搬送・固定するのではなく、工作機械の方を集動させること、(b)マイクロの機構としてマクロの機構を相似的に縮小したものを使うのではなく、新たにそれに適したマイクロ機構を採用すること、の2点を提唱し、実際に一辺200mmの立方体の中に、一辺1mmの立方体の被加工物を、エンドミルで5面切削加工できるマイクロショップを作成した。(a)に従って、被加工物の回りに4台の工具スピンドル、1台の被加工物ハンドリングマニピュレータ、1台の顕微鏡ポスト、とを配し、また(b)に従って、たとえば、スピンドルは回転モータではなくて、動圧軸受け付きのエアータービンを、並進テーブルはボールネジ・モータ・直動ガイドではなくて、弾性ヒンジ保持のボイスコイルモータを、それぞれ用いた。さらにこのマイクロショップを評価するために、実際に金属やプラスチックを切削して、(1)熱膨張するコラムやテーブルを空気の断熱膨張で冷却することと、弾性ヒンジに貼った歪ゲージによっで変位フィードバック制御することとで、分解能0.05μm 、繰り返し精度1μmの加工精度が得られること、(2)テーブル剛性は1N程度の加工カが働いた直後だけ10mN/μmと柔であるが、その後は変位フィードバックによって無限大となり正確な加工が可能であること、(3)角棒状の超硬または単結晶ダイヤモンド工具を用いると、マクロの加工と全く同じようにエンドミル加工ができたが、直径50μm以下と微小径でかつ刃先半径0.1μm以下と鋭利な工具が人手または自家製作できなかったので、幅30μmの角溝のような凹形状を有する微細加工は難しいこと、などがわがった。本生産システテムは人間の個性に合わせた一品生産、たとえば外科手術中に削って人体にはめ込む電極や補填材、また装身具やコンタクトレンズなどの金型加工に用いるマイクロファクトリとして有望である。
  • ネガティブコンプライアンス素子を用いた剛性無限大の力学的加工システムの実現, 文部科学省, 科学研究費補助金(奨励研究(A)), 松本 潔, 平成10年度は、システム安定限界の解析、最適な加工誤差の収束条件の検討、平面研削システムの特性測定、ネガティブコンプライアシスによる加工実験を行い、本システム評価を行った。研削システムおよびアクティブカセンサのコンプライアンスをそれぞれCs、Ca、また加工コンプライアンスをCmとする。Csは研削システムに固有であり、またCmは(切り込み量)/(研削力)で定義されるものとする。解析により、アクティブカセンサのコシプライアシスCaが-(Cs+Cm)

教育活動情報

担当経験のある科目

  • 機械力学, 東洋大学
  • IRT通論, 東京大学
  • 知能メカトロニクス, 東京大学
  • マイクロシステム, 東京大学
  • マイクロ知能機械, 東京大学
  • メカトロニクス, 東京大学
  • 計測の原理と応用, 東京大学