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中野　秀俊 (ナカノ　ヒデトシ)

  • 理工学部電気電子情報工学科　教授
  • 工業技術研究所　研究員
  • 理工学研究科電気電子情報専攻　教授
Last Updated :2024/04/23

研究者情報

学位

  • 工学博士（東京大学）

ホームページURL

科研費研究者番号

  • 90393793

J-Global ID

研究キーワード

  • 光物性   半導体   時間分解光電子分光   量子ビーム   放射線・X線・粒子線   超高速ダイナミクス   結晶成長   高性能レーザー   光源技術   半導体物性   高次高調波   

研究分野

  • ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学

経歴

  • 2011年04月  東洋大学理工学部教授
  • 1997年04月 - 2011年03月  ＮＴＴ物性科学基礎研究所主幹研究員
  • 1993年09月 - 1997年03月  ＮＴＴ基礎研究所主任研究員
  • 1991年11月 - 1993年08月  ＮＴＴ交換システム研究所主任研究員
  • 1987年04月 - 1991年10月  ＮＴＴ基礎研究所

学歴

  • 1984年04月 - 1987年03月   東京大学大学院   工学系研究科   電気工学専攻 博士課程
  • 1982年04月 - 1984年03月   東京大学大学院   工学系研究科   電子工学専攻 修士課程
  •         - 1982年03月   東京大学   工学部   電子工学科

所属学協会

  • IEEE   The Optical Society of America   電気学会   レーザー学会   日本物理学会   電子情報通信学会   応用物理学会   SPIE   

研究活動情報

論文

講演・口頭発表等

MISC

受賞

  • 2008年05月 レーザー学会 第 32 回レーザー学会論文賞[オリジナル部門]
     超高速 XAFS 分光法によるフェムト秒レーザーアブレーションプルームの時空間発展ダイナミクス計測 
    受賞者: 小栗 克弥;岡野 泰彬;西川 正;中野 秀俊
  • 2004年09月 応用物理学会 第26回応用物理学会論文賞(JJAP 論文賞)
     Enhanced Water-Window X-Ray Pulse Generation from Femtosecond-Laser-Produced Plasma with a Carbon Nanotube Target 
    受賞者: 西川 正;小栗 克弥;鈴木 哲;渡辺 義夫;中野 秀俊

共同研究・競争的資金等の研究課題

  • 日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2019年04月 -2022年03月 
    代表者 : 尼子 淳; 中野 秀俊
     
    時空間における波形歪がない超短パルスビームアレイをつくる光学系を開発した。回折ビームスプリッタでパルスビームを分岐し、光学系の諸分散を調整して波形歪を除き、実用十分な長さのパルスビームアレイをつくる。このパルスビームアレイで材料の複数部位を並列に加工すれば、製造ラインで要求される加工スループットを達成できる。この研究成果により、工業製品に使われるさまざまな材料に対して、レーザーアブレーション過程の発熱を抑えた、孔開け、切断、接合等々の精密加工が高い生産性で実現される。
  • 日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2014年04月 -2017年03月 
    代表者 : 尼子 淳; 村上 拓; 上田 義人; 佐藤 慎; 竹田 州; 菅野 貴行; 小林 誠也; 中野 秀俊
     
    時空間における波形歪のない超短パルスビーム列を生成するカスケード光学系を開発した。回折系の後に屈折系がカスケードに接続され、両者の間に位相差板が配置されている。パルスビームを回折光学素子で分岐すると、波形歪の主要因である色収差が生じる。この色収差を回折系と屈折系で補正し、角度分散を位相差板で補償する。系全体に残る材料由来の位相遅延分散は入力パルスへチャープを与えて補償する。光線行列解析により導出した色収差補正の条件を用いてカスケード光学系を設計した。20fsのパルスビームを用いた波形の評価から、提案したパルスビーム列生成法の有効性を検証した。この研究成果は超短パルス微細加工へ応用できる。
  • 日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2011年04月 -2014年03月 
    代表者 : 小栗 克弥; 中野 秀俊; 日比野 浩樹; 加藤 景子; 関根 佳明
     
    我々は、次世代の超高速デバイス材料として有望な大面積エピタキシャルグラフェンの超高速緩和ダイナミクスを明らかにすることを目的として、原子層一層レベルの表面の光励起キャリア緩和ダイナミクス計測が可能な高次高調波光源を用いたフェムト秒時間分解表面光電子分光法を実現した。また、30倍程度の信号強度増強効果を有する表面増強ラマン散乱分光法を確立し、基板のからのラマンピークと重畳することなく、エピタキシャルグラフェンのラマンピークの詳細な分析に成功した。更に、超高速過渡回折法を用いることにより、グラフェンの電子位相緩和計測に成功し、緩和時間をおよそ50 fsと見積もることができた。
  • 日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2006年 -2009年 
    代表者 : 小林 康之; 牧本 俊樹; 赤坂 哲也; 西川 敦; 中野 秀俊; 後藤 秀樹; 俵 毅彦; 眞田 治樹
     
    我々は、有機金属気相成長法により、(0001)六方晶窒化ホウ素薄膜が、ニッケル(111)基板とサファイア(0001)基板上にエピタキシャル成長することを見出した。六方晶窒化ホウ素エピタキシャル薄膜は、カソードルミネッセンス測定から室温において227nm付近のバンド端近傍の発光を示し、その光学バンドギャップは、5.9eV、直接遷移であり、遠紫外発光材料として有望である。
  • 日本学術振興会：科学研究費助成事業
    研究期間 : 2002年 -2005年 
    代表者 : 中村 一隆; 弘中 陽一郎; 中野 秀俊
     
    高強度フェムト秒レーザー光を真空中で金属ターゲットに集光照射することにより、超短パルス硬X線を発生し、これを用いたフェムト秒時間分解X線回折を用いた物質ダイナミクスの研究を行った。本年度は、50フェムト秒レーザー光励起によるCdTe単結晶のコヒーレント光学フォノン計測に成功した。光学フォノンは重心が固定された運動であるため、結晶格子間隔の変化に対応する回折角度の変化がない。そのために通常のX線回折法では検出することができない。本研究では、格子振動周期よりも短いパルス幅の光パルスを用いて励起することで、位相の揃ったフォノンであるコヒーレント光学フォノンの励起を行った。これに加えて、振動周期よりも十分短い時間分解能での測定を行うことにより、X線回折強度の変調として、コヒーレント光学フォノンの計測に成功した。50フェムト秒レーザー光照射を行うと、X線回折強度は20ピコ秒以内に強度減少することが観測された。また、この状態を20フェムト秒の時間ステップでX線回折測定を行うと、約200フェムト秒の周期(5THz)の振動成分がCdTe(111)のX線回折強度の時間プロファイルに現れた。ラマン分光測定との比較から、この振動はCdTeのガンマ点におけるLOフォノンであることが分かった。また、フェムト秒時間分解反射率測定も行い、励起されたフォノンがCdTeのLOフォノンであることを確認した。 本研究で、200フェムト秒の振動が観測されたことから、200フェムト秒の時間分解X線回折測定が可能であること、またフェムト秒レーザー誘起プラズマX線のパルス幅が数百フェムト秒であることが明らかになった。

その他のリンク

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